[发明专利]一种除尘装置、机构及自动除尘方法

说明书

本申请公开了一种除尘装置、机构及自动除尘方法，属于生产辅助设备技术领域。该自动除尘方法包括下述步骤，提供粉料、坩埚、壳体、感应单元和气流发生单元，所述壳体形成具有进风口的气流通道，所述气流通道与所述气流发生单元的进气口连通；将所述坩埚置于所述感应单元的感应区域内，则所述感应单元输出信号控制所述气流发生单元启动，形成沿进风口、气流通道、进气口和气流发生单元流动的气流，向坩埚内添加粉料，开始除尘；停止将坩埚内添加粉料，将所述坩埚移出所述感应单元的感应区域内，则所述感应单元输出信号控制所述气流发生单元关闭，除尘结束。该自动除尘方法不再需要人工手持操作，自动感应除尘，节省能源，大大提高了工作效率。

技术领域

本申请涉及一种除尘装置、机构及自动除尘方法，属于生产辅助设备技术领域。

背景技术

现有的生产过程中，无论是装料过程还是生产加工过程，往往会产生较多的粉尘，一方面会影响加工过程，影响产品质量；另一方面也会造成污染，危害工人健康。

例如，在半导体碳化硅的生产过程中，通常先将碳化硅粉末预先加入到坩埚中，之后开始长晶过程。操作人员对坩埚装料时，产生的粉尘较多会导致晶体存在缺陷，影响长晶质量。目前是装料时工人单手手持吸尘器头，打开吸尘器，将吸尘器头放在坩埚上方一侧，保持不动的同时扶住坩埚，然后另一只手再进行装料及其他操作，完成装料后再将吸尘器关闭。

上述除尘方式工作效率低，需要工人同时进行多项操作，每次使用都需手动打开和关闭吸尘器，工序繁杂，不能持续高效吸除灰尘；并且手持吸尘器时稍不注意，就会将装的原料吸走，浪费原料的同时也增加了成本；另外吸尘器过大、管路较长，占用空间，清洗不方便。

发明内容

为了解决上述问题，本申请提出了一种除尘装置、机构及自动除尘方法，该自动除尘方法不再需要人工手持操作，自动感应进行除尘，节省能源，大大提高了工作效率。

根据本申请的一个方面，提供了一种自动除尘方法，该方法包括下述步骤：

提供粉料、坩埚、壳体、感应单元和气流发生单元，所述壳体形成具有进风口的气流通道，所述气流通道与所述气流发生单元的进气口连通；

将所述坩埚置于所述感应单元的感应区域内，则所述感应单元输出信号控制所述气流发生单元启动，形成沿进风口、气流通道、进气口和气流发生单元流动的气流，向坩埚内添加粉料，开始除尘；

停止向坩埚内添加粉料，将所述坩埚移出所述感应单元的感应区域内，则所述感应单元输出信号控制所述气流发生单元关闭，除尘结束。

可选地，所述感应单元能够感应所述坩埚和壳体之间的距离，所述气流速度能够根据所述距离自动调节；

优选地，所述进风口设置若干个挡板，以调节所述进风口的面积，从而调节气流速度；和/或

所述气流发生单元能够根据所述距离，自动调节所述气流速度。

可选地，还包括粉尘检测器，所述粉尘检测器设置于所述进风口一侧；

所述粉尘检测器检测到所述坩埚内粉尘浓度小于预定值时，所述粉尘检测器输出信号控制所述气流发生单元关闭，将所述坩埚移出所述感应单元的感应区域，除尘完成。

根据本申请又一个方面，提供了一种除尘装置，该装置包括：

壳体，所述壳体形成具有进风口的气流通道，所述气流通道与气流发生单元的进气口连通，待除尘件置于所述进风口形成的气流区域内；

感应单元，所述感应单元与所述气流发生单元连接，所述感应单元的感应区域内放置所述待除尘件则通过控制器启动所述气流发生单元，形成沿进风口、气流通道、进气口和气流发生单元流动的气流；所述感应单元的感应区域内移出所述待除尘件则所述控制器关闭所述气流发生单元。