[发明专利]一种投影光学装置

权利要求书

1.一种投影光学装置，其特征在于，包括准直镜头、投影镜头、安装底板和DMD；所述准直镜头设置在投影镜头上；所述投影镜头的端部设有与安装底板相配套的转换板；所述DMD设置在安装底板上；所述安装底板可在转换板上移动安装。

2.根据权利要求1所述的投影光学装置，其特征在于，所述安装底板设有一组通孔组，所述转换板设有多组与其相匹配的连接孔组；或者所述安装底板上设有多组通孔组，所述转换板上设有一组与其相匹配的连接孔组；或者所述转换板和安装底板分别设有多组相匹配的连接孔组和通孔组。

3.根据权利要求2所述的投影光学装置，其特征在于，所述安装底板于所述转换板上移动安装的方向仅为DMD的宽度方向。

4.根据权利要求3所述的投影光学装置，其特征在于，每组所述通孔组均包括四个通孔，所述四个通孔分别设置在安装底板上的四个角上；所述连接孔组包括四个连接孔，所述四个连接孔在转换板上的位置与每组通孔组上的四个通孔相对应。

5.根据权利要求4所述的投影光学装置，其特征在于，所述转换板上的连接孔为螺纹孔。

6.根据权利要求5所述的投影光学装置，其特征在于，所述通孔组的数量与DMD实际使用区域的个数相等；且安装底板上的任一角上相邻两个通孔之间的距离等于DMD实际使用行数与单个晶圆尺寸的乘积；所述转换板的四个角上的螺纹孔中，沿着DMD的宽度方向相邻的两个螺纹孔之间的距离与沿着DMD的宽度方向的同一通孔组中的两个通孔之间的距离相等。

7.根据权利要求6所述的投影光学装置，其特征在于，所述DMD的实际设备上使用的区域大小为1920×336，其实际使用区域的个数为3个，所述通孔组的个数为3个，安装底板上同一角上相邻的两个通孔之间的距离为3.63mm。

8.根据权利要求1~7任一项所述的投影光学装置，其特征在于，所述安装底板上设有用于安装DMD的卡槽，所述DMD通过卡槽设置在安装底板上。

9.根据权利要求2所述的投影光学装置，其特征在于，所述安装底板上的通孔和转换板上的连接孔均为内表面光滑的光孔。

10.根据权利要求1所述的投影光学装置，其特征在于，所述安装底板通过一键控制直线电机驱动设置在转换板上。