[发明专利]一种设备定位装置及定位方法

说明书

本发明公开了一种设备定位装置，包括定位块、导向槽、定位孔和定位销，其中，所述定位块固定在地面，所述定位块中包括导向槽和定位孔，且定位孔位于导向槽中；所述定位销固定在设备底部，且所述定位销的形状与所述定位孔契合；当设备靠近定位装置时，设备底部的定位销移动至导向槽中，并沿着导向槽移动至定位孔中，调节设备的高度，使得定位销插入至定位孔底部，使得设备被固定；当设备远离定位装置时，调节设备高度，使得设备底部定位销移出定位孔，并沿着导向槽滑出定位装置，再将设备移出定位装置。通过本发明定位装置可以确保设备移入移出过程迅速，定位准确便捷。

技术领域

本发明涉及设备固定领域，具体涉及一种设备定位装置及定位方法。

背景技术

在完整的生产链中通常包含多个设备，且每个设备在进厂或者检修环节需要不断的移入移出场地，尤其是检修环节，检修完成之后的设备还需要再移动至固定场地进行固定。针对生产链来说，在设备的初次安装以及后续多次安装过程中，均需要将其高度以及位置毫无差异的进行复原，这样才能保证生产条件相同。

如附图1所示，现有技术中设备的移入移出采用脚轮6和脚杯10相互配合的方法进行，传统设计都是脚轮6用来对设备5进行移动，移动到位后脚杯10调高用来支撑设备5，这时脚轮6不再着地。采用这种方式安装的设备如果想要在对设备位置进行微调节就无法进行了，只能反复的调节脚杯高度使脚轮受力对设备位置进行调位。同时设备因为大修维护等需要移出工位时，再次移入工位又需要再一次调节，不具有固定位置的再现性；需要多次调节脚轮的位置才能移动至固定点。

现有技术中针对设备移入移出的位置不可再现性严重阻碍了整个生产链的组装以及生产效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种设备定位装置及定位方法，通过本发明定位装置可以确保设备移入移出过程迅速，定位准确便捷。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种设备定位装置，包括定位块、导向槽、定位孔和定位销，其中，所述定位块固定在地面，所述定位块中包括导向槽和定位孔，且定位孔位于导向槽中；所述定位销固定在设备底部，且所述定位销的形状与所述定位孔契合；

当设备靠近定位装置时，设备底部的定位销移动至导向槽中，并沿着导向槽移动至定位孔中，调节设备的高度，使得定位销插入至定位孔底部，使得设备被固定；

当设备远离定位装置时，调节设备高度，使得设备底部定位销移出定位孔，并沿着导向槽滑出定位装置，再将设备移出定位装置。

进一步的，所述定位块固定在所述高架地板中，所述定位块通过螺钉固定在锁紧块中，所述定位块位于所述高架地板的顶部，所述锁紧块位于高架地板的底部。

进一步的，所述定位块固定在地面上，所述定位块通过膨胀螺丝固定在地面中。

进一步的，所述定位装置还包括脚轮，所述脚轮固定在设备底部，所述脚轮带动设备进行移动。

进一步的，所述脚轮连接高度调节螺丝，所述高度调节螺丝用于调节脚轮的高度。

进一步的，所述导向槽为位于定位块中的水平凹槽，且所述导向槽的水平截面为锥形，远离定位孔一端的水平截面面积大于靠近定位孔一端的水平截面面积。

进一步的，所述定位孔位于导向槽的末端，所述定位孔的高度小于所述导向槽的高度。

进一步的，所述设备为晶圆传送机或者晶圆分拣机。

一种采用定位设备进行设备移入移出的方法，包括如下步骤：

S01：设备入厂时，设备底部的定位销升高至不承重状态，设备底部的脚轮降低至称重状态，所述脚轮带动设备移动至待固定位置，并标记出待固定位置；

S02：脚轮带动设备移出待固定位置，将定位块固定在待固定位置；