[发明专利]一种颗粒分析装置及颗粒分选设备在审
申请号: | 202011522569.6 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN112683759A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 侯烨 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G01N15/14 | 分类号: | G01N15/14 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 颗粒 分析 装置 分选 设备 | ||
1.一种颗粒分析装置,其特征在于,包括:
探测光产生模块,用于产生探测光;所述探测光产生模块包括光源单元和光线调整单元,所述光线调整单元用于将所述光源单元发出的光线分光出波长可调换和/或光束可增减的探测光;
光学探测模块,用于对待测颗粒被探测光照射后产生的光信号进行分析。
2.根据权利要求1所述的颗粒分析装置,其特征在于:
所述光线调整单元还用于将所述光源单元发出的光线同时分光出至少两种不同波长的探测光。
3.根据权利要求1所述的颗粒分析装置,其特征在于:
所述光线调整单元包括至少一个可拆换的分光元件。
4.根据权利要求3所述的颗粒分析装置,其特征在于:
所述光线调整单元包括固定元件,所述分光元件可拆换的固定于所述固定元件。
5.根据权利要求4所述的颗粒分析装置,其特征在于:
所述光线调整单元还包括反射元件以及至少两个可拆换的分光元件,所述反射元件与所述分光元件相对设置。
6.根据权利要求5所述的颗粒分析装置,其特征在于:
至少两个所述分光元件与所述光源单元发出的光线具有第一预设角度,所述反射元件与所述分光元件平行设置。
7.根据权利要求6所述的颗粒分析装置,其特征在于:
所述探测光产生模块还包括汇聚单元,用于对所述探测光进行汇聚。
8.根据权利要求5所述的颗粒分析装置,其特征在于:
至少两个所述分光元件包括第一分光元件、……第n分光元件以及第n+1分光元件,其中,n为大于或等于1的正整数;
所述反射元件与所述第一分光元件之间具有第二预设角度,所述第n+1分光元件与所述第n分光元件之间具有第二预设角度,且所述第n+1分光元件与所述第一分光元件的夹角为所述第二预设角度的n倍。
9.根据权利要求3-8任一项所述的颗粒分析装置,其特征在于:
所述探测光产生模块还包括遮光单元;
所述遮光单元用于吸收所述光线调整单元出射的非探测光。
10.根据权利要求3-8任一项所述的颗粒分析装置,其特征在于:
所述分光元件为带通型分光元件。
11.根据权利要求1所述的颗粒分析装置,其特征在于,还包括:
成像模块,用于对所述待测颗粒进行成像分析。
12.一种颗粒分选设备,其特征在于,包括分选模块、收集模块和权利要求1-11任一项所述的颗粒分析装置;
所述分选模块用于根据颗粒分析装置的分析结果对所述待测颗粒进行分选;
所述收集模块用于对分选后的所述待测颗粒进行收集。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司,未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011522569.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。