[发明专利]谐振腔、激光单元、激光器以及激光雷达

权利要求书

1.一种谐振腔，其特征在于，包括：

第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜和所述第二反射镜相对间隔设置，所述第一反射镜指向第二反射镜的方向与电流方向一致；

有源结构，所述有源结构位于所述第一反射镜和所述第二反射镜之间；所述有源结构包括多个功能叠层，所述功能叠层包括发光层；

沿所述第一反射镜指向第二反射镜的方向，所述多个功能叠层依次排列，并分别为第1功能叠层、第2功能叠层……第N功能叠层，其中N为所述有源结构中功能叠层的数量，至少所述第1功能叠层和所述第N功能叠层还包括：电流限制层；

同一功能叠层中，所述电流限制层和所述发光层之间的距离为传导间距；

所述第1功能叠层的传导间距大于所述第N功能叠层的传导间距。

2.如权利要求1所述的谐振腔，其特征在于，第1功能叠层的传导间距与第N功能叠层的传导间距的光程差是所述有源结构产生的光线半波长的整数倍。

3.如权利要求2所述的谐振腔，其特征在于，所述整数大于等于2。

4.如权利要求1所述的谐振腔，其特征在于，每个所述功能叠层均包括沿电流方向依次设置的电流限制层和发光层。

5.如权利要求4所述的谐振腔，其特征在于，沿所述第1功能叠层指向第2功能叠层的方向，所述传导间距减小。

6.如权利要求5所述的谐振腔，其特征在于，所述第1功能叠层的传导间距大于所述第2功能叠层的传导间距。

7.如权利要求5所述的谐振腔，其特征在于，第N功能叠层的传导间距小于第N-1功能叠层的传导间距。

8.如权利要求4所述的谐振腔，其特征在于，第1功能叠层、第2功能叠层、……、第X功能叠层中任意一个的传导间距，大于第X+1功能叠层、第X+2功能叠层、……、第N功能叠层中任意一个的传导间距。

9.如权利要求1所述的谐振腔，其特征在于，所述第1功能叠层的传导间距大于0.75λ，其中λ为所述有源结构产生光线的波长。

10.如权利要求1所述的谐振腔，其特征在于，所述第N功能叠层的传导间距小于0.75λ，其中λ为所述有源结构产生光线的波长。

11.如权利要求1所述的谐振腔，其特征在于，所述发光层为量子阱结构。

12.如权利要求1所述的谐振腔，其特征在于，所述第一反射镜为P型掺杂的反射镜；所述第二反射镜为N型掺杂的反射镜。

13.一种激光单元，其特征在于，包括：

谐振腔，所述谐振腔为权利要求1～12任一项所述的谐振腔；

第一电极，所述第一电极与所述谐振腔电连接；

第二电极，所述第二电极与所述谐振腔电连接。

14.如权利要求13所述的激光单元，其特征在于，所述第一电极包括：贯穿所述第一电极的开口；

所述电流限制层包括：导电区域和填充于所述导电区域之间的绝缘区域，其中所述导电区域沿电流方向贯穿所述电流限制层；

所述导电区域在所述第一电极表面的投影在所述开口的范围内。

15.如权利要求13或14所述的激光单元，其特征在于，所述第一电极为P电极；所述第二电极为N电极。

16.一种激光器，其特征在于，包括：

激光单元，所述激光单元为权利要求13～15中任一项所述的激光单元。

17.如权利要求16所述的激光器，其特征在于，所述激光器为垂直腔面发射激光器。