[发明专利]一种接触式微位移检测装置

说明书

本发明提出了一种接触式微位移检测装置，包括中空的壳体，壳体内横向设有测量杆，测量杆的左端穿出壳体外，测量杆上下两侧从内向外依次设有磁控弹性体、压电片和U型安装槽，两个U型安装槽相背设置，且分别与壳体的上、下内侧壁围成分别用于放置第一永磁体与第二永磁体的空腔，两个压电片均连接有引线，壳体内靠右固设有定向板，测量杆右端穿过定向板自由悬空，壳体右内侧壁上设有垫块；壳体左侧壁和定向板上均设有导向环，测量杆上靠左固定连接有左推板，靠右固定连接有右推板，左推板与左侧壁之间连接有左弹性复位机构，右推板与定向板之间连接有右弹性复位机构。能够准确检测物体产生的微小的位移。

技术领域

本发明涉及测量技术领域，具体涉及一种接触式微位移检测装置。

背景技术

微位移检测技术是精密定位、精密仪器加工制造、精密测量等应用领域中的关键技术之一，在尖端的工业生产领域和科学研究中占有极其重要的地位。随着科技不断进步，微纳米技术迅速兴起，使微位移检测技术的要求不断提高。

公开号为CN208902127U的专利文献公开了一种光纤微位移传感器，包括传动杆、相对设置的两锯齿状的反射镜和分别射入和射出的两个准直透镜等；传动杆推动其中一个锯齿状的反射镜，引起两反射镜的反射小形成偏差，以此造成光路反射时光路行程产生变化；导致测量光路的光信号相位相对参考光路发生变化，通过相位比较器两个探测相位变化量便可以解调位移变化。

但是上述技术方案存在以下技术问题：无法避免光源误差、几何安装误差与环境因素影响引起的误差等多种不确定因素。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题，特别创新地提出了一种接触式微位移检测装置。

为了实现本发明的上述目的，本发明提供了一种接触式微位移检测装置，包括中空的壳体，所述壳体内横向设有测量杆，所述测量杆的左端穿出壳体外，所述测量杆中部的上下两侧从内向外依次设有磁控弹性体、压电片和U型安装槽，两个所述U型安装槽相背设置，且分别与壳体的上、下内侧壁围成分别用于放置第一永磁体与第二永磁体的空腔，所述第一永磁体和第二永磁体相对一侧的磁极极性相反，且均固定在U型安装槽的槽底，两个所述压电片均连接有引线，所述引线穿过壳体上设置的通孔，引出至壳体外；

所述壳体内靠右固设有定向板，所述测量杆右端穿过定向板自由悬空，所述壳体右内侧壁上设有用于为测量杆右端提供缓冲的垫块；所述壳体左侧壁和定向板上供测量杆穿过的穿孔内均设有导向环，所述测量杆滑动连接在穿孔内，所述测量杆上靠左固定连接有左推板，靠右固定连接有右推板，所述左推板与左侧壁之间连接有左弹性复位机构，所述右推板与定向板之间连接有右弹性复位机构。

上述方案中：所述测量杆中部的上下两侧设为扁平状，两个所述磁控弹性体分别固定在测量杆中部扁平部位的上、下两侧。便于安装磁控弹性体。

上述方案中：所述测量杆的扁平部位向前后两侧延伸形成连接平台。提高磁控弹性体的安装稳定程度。

上述方案中：所述壳体呈圆柱形。

上述方案中：所述壳体通过左壳体、中壳体、右壳体可拆卸连接而成，所述U型安装槽固定在中壳体上，所述左壳体、中壳体、右壳体均采用不导磁硬质合金材料制成。便于安装。

上述方案中：所述中壳体为圆筒状，所述中壳体和左壳体、右壳体之间均通过螺纹连接，形成一体。便于拆卸和连接。

上述方案中：所述左推板和右推板为圆形的板式结构，左弹性复位机构和右弹性复位机构均为压簧，且左弹性复位机构和右弹性复位机构均外套在测量杆上。对左推板和右推板的推力更加均匀，相比左弹性复位机构和右弹性复位机构设置在测量杆一侧能够很好的推动测量杆，测量杆受力更加均与，避免产生偏移。

上述方案中：两个所述导向环均由聚四氟乙烯类材料制成。