[发明专利]电源装置及激光装置

权利要求书

1.一种电源装置，其具有充电电源，所述充电电源与进行间歇动作的负载的动作同步地进行使与进行间歇动作的负载连接的电容器的端子间电压接近于电压目标值的充电动作，

所述充电电源具备切换第1动作模式与第2动作模式的功能，其中，在所述第1动作模式中，若所述电容器的端子间电压偏离第1电压容许范围，则进行使所述电容器的端子间电压接近于所述电压目标值的辅助充放电动作，在所述第2动作模式中，若所述电容器的端子间电压偏离比所述第1电压容许范围更窄的第2电压容许范围，则进行所述辅助充放电动作。

2.根据权利要求1所述的电源装置，其还具有输入装置，所述输入装置输入确定所述第1电压容许范围及所述第2电压容许范围的信息，

所述充电电源根据从所述输入装置输入的确定所述第1电压容许范围及所述第2电压容许范围的信息来进行所述第1动作模式及所述第2动作模式中的一种动作模式中的所述辅助充放电动作。

3.根据权利要求1或2所述的电源装置，其中，

所述充电电源包括具备低侧开关元件的开关转换器，并且通过使所述低侧开关元件进行开关动作从而进行所述充电动作，从而将与所述低侧开关元件的导通时间相对应的电流供给到所述电容器，

所述充电电源具有如下功能：根据所述电容器的端子间电压相对于所述电压目标值的偏差及所述低侧开关元件的导通时间设定值来确定所述低侧开关元件的导通时间从而进行所述充电动作，

所述充电电源根据所述负载动作时的所述低侧开关元件的导通时间的实际值来重新设定所述导通时间设定值。

4.根据权利要求3所述的电源装置，其中，

所述负载以一次动作循环中的消耗电力互不相同的多个动作条件进行动作，

所述充电电源按照所述负载的每个动作条件存储所述导通时间设定值。

5.根据权利要求3或4所述的电源装置，其中，

所述充电电源具有切换导通时间固定模式与导通时间可变模式的功能，其中，在所述导通时间固定模式中，根据所述电容器的端子间电压相对于所述电压目标值的偏差及预先确定的导通时间固定值来确定所述低侧开关元件的导通时间从而进行所述充电动作，在导通时间可变模式中，根据所述低侧开关元件的所述导通时间设定值来确定所述低侧开关元件的导通时间从而进行所述充电动作。

6.根据权利要求5所述的电源装置，其中，

所述充电电源具有如下功能：使用户输入以所述导通时间可变模式及所述导通时间固定模式中的哪一种模式进行动作的指令。

7.一种电源装置，其具有：

电容器，连接有进行间歇动作的负载；及

充电电源，与所述负载的动作同步地进行使所述电容器的端子间电压接近于电压目标值的充电动作，

所述充电电源包括具备低侧开关元件的开关转换器，并且通过使所述低侧开关元件进行开关动作从而进行所述充电动作，从而将与所述低侧开关元件的导通时间相对应的电流供给到所述电容器，

所述充电电源具有如下功能：根据所述电容器的端子间电压相对于所述电压目标值的偏差及所述负载动作时的所述低侧开关元件的导通时间的实际值来确定所述低侧开关元件的导通时间。

8.一种激光装置，其具有：

激光振荡器，具备放电电极，并且进行脉冲振荡；

高频电源，与触发信号同步地将直流电转换成交流电并以脉冲形式供给到所述放电电极；及

电源装置，向所述高频电源供给直流电，

所述电源装置具有：

电容器，蓄积供给所述高频电源的直流电；及

充电电源，与所述触发信号同步地进行使所述电容器的端子间电压接近于电压目标值的充电动作，

所述充电电源具备切换第1动作模式与第2动作模式的功能，其中，在所述第1动作模式中，若所述电容器的端子间电压偏离第1电压容许范围，则进行使所述电容器的端子间电压接近于所述电压目标值的辅助充放电动作，在所述第2动作模式中，若所述电容器的端子间电压偏离比所述第1电压容许范围更窄的第2电压容许范围，则进行所述辅助充放电动作。

9.一种激光装置，其具有：

激光振荡器，具备放电电极，并且进行脉冲振荡；

高频电源，与触发信号同步地将交流电以脉冲形式供给到所述放电电极；及

电源装置，向所述高频电源供给直流电，

所述电源装置具有：

电容器，蓄积供给所述高频电源的直流电；及

充电电源，与所述触发信号同步地进行使所述电容器的端子间电压接近于电压目标值的充电动作，

所述充电电源包括具备低侧开关元件的开关转换器，并且通过使所述低侧开关元件进行开关动作从而进行所述充电动作，从而将与所述低侧开关元件的导通时间相对应的电流供给到所述电容器，

所述充电电源具备如下功能：根据所述电容器的端子间电压相对于所述电压目标值的偏差及进行所述充电动作时的所述低侧开关元件的导通时间的实际值来确定所述低侧开关元件的导通时间。