[发明专利]检测装置、激光等离子光源及其调节方法

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

探测器，所述探测器设置于激光等离子光源的真空室内；

控制器，所述控制器与所述探测器连接并接收所述探测器获取的反馈信号，所述控制器根据所述反馈信号判断所述激光等离子光源的发光情况。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述探测器为光学探测器，所述光学探测器将所述激光等离子光源产生的光信号转换为电信号，所述电信号为反馈信号。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述光学探测器为光电二极管或者耦合有滤片的光电二极管。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述探测器为声学探测器，所述声学探测器将所述激光等离子光源的残余激光与激光收集器作用而产生的声信号转换为电信号，所述电信号为反馈信号。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述声学探测器为声音传感器或者耦合有滤波器的声音传感器。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括显示器或计算机，所述显示器或所述计算机与所述控制器连接以显示所述控制器的判断结果。

7.一种激光等离子光源，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的检测装置。

8.根据权利要求7所述的激光等离子光源，其特征在于，所述激光等离子光源还包括：

激光器，所述激光器发出激光束；

反射镜，所述反射镜设置于所述激光束的光路上以反射所述激光束；

聚焦镜，所述聚焦镜设置于真空室上，所述聚焦镜同时位于所述激光束的光路上并将所述激光束聚焦；以及

靶材，所述靶材位于所述真空室内，所述激光束作用于所述靶材。

9.根据权利要求8所述的激光等离子光源，其特征在于，所述激光等离子光源还包括驱动器，所述驱动器与所述控制器连接以接收所述控制器产生的调节指令，所述反射镜设置于所述驱动器上。

10.根据权利要求9所述的激光等离子光源，其特征在于，所述驱动器包括电机、电动旋转台、电动微分头。

11.根据权利要求9所述的激光等离子光源，其特征在于，所述反射镜的调节角度介于-5°-5°之间。

12.根据权利要求9所述的激光等离子光源，其特征在于，所述激光器发出的激光束为单脉冲激光束，所述单脉冲激光束的能量不低于100mJ，持续时间不超过10ns。

13.根据权利要求9所述的激光等离子光源，其特征在于，所述反射镜采用与所述激光束的波长匹配的光学镀膜镜片。

14.根据权利要求9所述的激光等离子光源，其特征在于，所述聚焦镜采用与所述激光束的波长匹配的镀膜平凸透镜。

15.根据权利要求9所述的激光等离子光源，其特征在于，所述聚焦镜的焦距根据以下公式进行确定：

S＝4M²lf/(πD)

其中，S为所述激光束聚焦后的聚焦光斑的面积，M为所述激光束的激光模式，l为所述激光束的波长，f为所述聚焦镜的焦距，D为所述激光束的光束直径。