[发明专利]一种激光器离线调试装置的调试方法

权利要求书

1.一种激光器离线调试装置的调试方法，所述方法是通过调试装置实现的，所述调试装置包括电脑（8）以及两组调试机构；所述两组调试机构镜像设置且每组调试机构均包括激光器（1）、第一反射镜（2）、第二反射镜（3）、CCD相机（5）、第三反射镜（6）以及谐振腔镜（7）；所述激光器（1）发射的激光经第一反射镜（2）反射至第二反射镜（3）后再反射至谐振腔镜（7），激光器（1）发射的激光与第二反射镜（3）反射至谐振腔镜（7）的反射光平行；所述谐振腔镜（7）的反射光经第三反射镜（6）反射后进入CCD相机（5）的中心，谐振腔镜（7）的反射光与第三反射镜（6）的反射光垂直；两组调试机构的CCD相机（5）的信号输出端均与电脑（8）连接；其特征在于：所述方法包括如下步骤：

S1：在两处谐振腔镜（7）的位置处安装辅助镜片；

S2：调试激光器（1）的谐振腔，使激光器（1）获得最佳输出；

S3：依次摆放激光器（1）、第一反射镜（2）、第二反射镜（3）、小孔光阑（4）、CCD相机（5）、第三反射镜（6）以及电脑（8）；

S4：调整第一反射镜（2）以及第二反射镜（3）的位置和角度，使激光器（1）发射的激光与第二反射镜（3）反射至谐振腔镜（7）的反射光平行；

S5：调整第三反射镜（6）的位置和角度，使谐振腔镜（7）的反射光经第三反射镜（6）反射后进入CCD相机（5）的中心；

S6：再次调整第二反射镜（3）的角度，并调整小孔光阑（4）的位置，使第二反射镜（3）的反射光由小孔光阑（4）中心入射后，再由对应的谐振腔镜（7）反射后对称照射到所述小孔光阑（4）上；

S7：将CCD相机（5）连接到电脑（8）上，

S8：在电脑（8）上记录两个CCD相机（5）采集到的两组调试机构的光斑位置，分别记为位置I和位置II；

S9：取下辅助镜片，将待调试的两个谐振腔镜（7）分别放置在对应的位置处；

S10：调节两个谐振腔镜（7）的角度，使其反射到对应的CCD相机（5）中心的反射光成像到S8所述的对应的位置I或位置II；

S11：观察S10所述的位置I或位置II与S8所述的位置I或位置II的光斑位置是否一致；若二者一致，则结束调整；若二者不一致，则重复S10。

2.根据权利要求1所述的一种激光器离线调试装置的调试方法，其特征在于：所述激光器（1）发射He-Ne激光。

3.根据权利要求1或2所述的一种激光器离线调试装置的调试方法，其特征在于：所述第一反射镜（2）、第二反射镜（3）以及第三反射镜（6）均为平面镜。

4.根据权利要求1或2所述的一种激光器离线调试装置的调试方法，其特征在于：所述激光器（1）与对应的谐振腔镜（7）之间的光程大于1.5m。

5.根据权利要求1或2所述的一种激光器离线调试装置的调试方法，其特征在于：所述第二反射镜（3）与对应的谐振腔镜（7）之间设有小孔光阑（4）。

6.根据权利要求5所述的一种激光器离线调试装置的调试方法，其特征在于：所述小孔光阑（4）的孔径小于1mm。

7.根据权利要求6所述的一种激光器离线调试装置的调试方法，其特征在于：所述CCD相机（5）的分辨率不低于2592×2048。