[发明专利]一种用于镀膜机的真空辅助加热舱

说明书

一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：所述的加热舱(4)为六面长方体，且具有六面长方体形的内腔，内腔底面上设有由两条对称的平行直线以及以两端的半圆弧连接构成的长环形轨道(3)，长环形轨道之内设有相应的长环形链条驱动机构，长环形轨道之上设有相应的长环形固定内齿圈，在长环形轨道上可滑动地支承有滑块座(3‑10)，滑块座的内侧与链条(3‑13)连接并被带动在长环形轨道上公转，滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件(3‑8)的旋转杆(3‑7)，旋转杆的下部固定有自转齿轮(3‑5)并与长环形固定内齿圈啮合使之在公转时实现自转。本发明舱室体积较小减低了制造成本，减少了抽真空时间和占地面积。

技术领域

本发明涉及一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，尤其是涉及一种具有长环形轨道的长方体形真空辅助加热舱。

背景技术

近年来，为了提高镀膜效率，出现了多种多舱式镀膜机。这些多舱式镀膜机的各舱室可同时实现镀膜工艺不同阶段的功能，例如进料舱、加热舱、离子刻蚀舱、镀膜舱、冷却出料舱等。这些独立功能舱的设计，节约了破真空、抽真空的辅助时间，并分别在各舱室同时独立地进行加热、离子刻蚀、镀膜、冷却等作业，大大提高了生产效率和设备产能，且镀膜舱室始终处于真空状态，降低破真空时充入杂气的影响，提高镀膜质量和稳定性。

现有的辅助舱室如加热舱等都是类似圆柱体状，工件在加热舱内一边在水平的圆环形轨道上公转一边自转，圆柱体的舱室体积较大增大了制造成本，也增加了抽真空时间，同时占地也较大。

发明内容

本发明所要解决的技术问题，就是提供一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其舱室体积较小减低了制造成本，减少了抽真空时间和占地面积；它可以和进料舱、PVD镀膜舱、还有出料舱一起组成类似连续式镀膜设备。

解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案如下：

一种用于镀膜机的真空辅助加热舱，其特征是：所述的加热舱4为六面长方体，且具有六面长方体形的内腔，内腔底面上设有由两条对称的平行直线以及以两端的半圆弧连接构成的长环形轨道3，长环形轨道之内设有相应的长环形链条驱动机构，长环形轨道之上设有相应的长环形固定内齿圈，在长环形轨道上可滑动地支承有滑块座3-10，滑块座的内侧与链条3-13连接并被带动在长环形轨道上公转，滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件3-8的旋转杆3-7，旋转杆的下部固定有自转齿轮3-5并与所述的长环形固定内齿圈啮合使之在公转时实现自转。

优选地，长环形轨道3包括内舱的长环形轨道底板3-1及其上支承着的垂直截面为T型的长环形轨道滑轨3-12，滑块座3-10底面下伸出两组共四个滚轮3-11，滚轮表面开有凹槽对应长环形轨道滑轨的内外侧边并对称地夹在长环形轨道滑轨内外侧边上，以支承起滑块座。

优选地，长环形链条驱动机构包括：相同且水平设置的主动链轮3-15和从动链轮3-25分处两端，位于下方且垂直的伺服电机轴3-24的上端与主动链轮3-15固连，链条的外侧固定有链条连接耳3-14，链条连接耳上又固定有T形连接件3-17伸向外，在滑块座3-10的内侧上端面上固定有开口向内的C形连接件3-19，设计使得T形连接件3-17的外伸部分插入C形连接件3-19的开口内、并设有垂直的限位销3-18将两者铰接。如此，滑块座3-10及其上所承载物被链条带动在环形滑轨上公转，在拐弯段时，可以通过上述铰接实现平稳顺畅拐弯。

所述的C形连接件3-19的固定方式为：C形连接件3-19的下端面有凸出块嵌入滑块座3-10上端面的对应凹槽上定位。

优选地，所述的滑块座上可转动地垂直支承有可挂工件的旋转杆的结构为：一工件支撑架底座3-9固定在滑块座3-10上，工件支撑架底座3-9上又固定有轴承座3-6，轴承座3-6通过轴承可转动地支承着旋转轴3-20，旋转轴上固定套有自转齿轮3-5、旋转轴的上端固定地着旋转杆3-7，工件3-8装挂在旋转杆3-7上。