[发明专利]晶圆运输盒全自动充氮包装方法

权利要求书

1.一种晶圆运输盒全自动充氮包装方法，其特征在于：所采用的装置包括移动模块、进料读ID工位(1)、第一贴标工位(2)、第一过渡工位(3)、第一充氮工位(4)、第二过渡工位(5)、第二充氮工位(6)、放干燥剂湿度卡工位(7)、套袋工位(8)、抽真空整形工位(9)、缠胶带工位(10)、第二贴标工位(11)、下料过渡工位(12)和下料工位(13)，所述第一贴标工位(2)、第一过渡工位(3)、第二过渡工位(5)、放干燥剂湿度卡工位(7)、套袋工位(8)、抽真空整形工位(9)、缠胶带工位(10)、第二贴标工位(11)和下料过渡工位(12)依次沿顺时针方向呈工位环布局，所述进料读ID工位(1)设置在第一贴标工位(2)的入口一侧，所述第一充氮工位(4)设置在第一过渡工位(3)的侧面，所述第二充氮工位(6)设置在第二过渡工位(5)的侧面；所述第一过渡工位(3)和第二过渡工位(5)均为充氮过渡工位，第一充氮工位(4)和第二充氮工位(6)均为充氮工位；所述进料读ID工位(1)、第一贴标工位(2)、第一过渡工位(3)、第一充氮工位(4)、第二过渡工位(5)、第二充氮工位(6)、放干燥剂湿度卡工位(7)、套袋工位(8)、抽真空整形工位(9)、缠胶带工位(10)、第二贴标工位(11)、下料过渡工位(12)和下料工位(13)上均设置有移动模块且移动模块实现FOSB在各个工位之间的移动；令进料读ID工位(1)为工位A，第一贴标工位(2)为工位B，第一过渡工位(3)为工位C11，第一充氮工位(4)为工位C12，第二过渡工位(5)为工位C21，第二充氮工位(6)为工位C22，放干燥剂湿度卡工位(7)为工位D，套袋工位(8)为工位E，抽真空整形工位(9)为工位F，第二贴标工位(11)和缠胶带工位(10)为工位G，下料过渡工位(12)为工位I，下料工位(13)为工位J；所述的全自动包装方法以36秒为一个节拍，具体包括以节拍为顺序的以下步骤：

节拍1：每个12个节拍人工放置一个FOSB到工位A中，在工位A中读取FOSB的RFID，并对FOSB进行第一次拍照识别，获取FOSB的ID信息；

节拍2：将FOSB从工位A移动到工位B中；

节拍3～5：对工位B中的FOSB进行旋转，同步打印FOSB的内ID标签，并将FOSB的内ID标签和内警示标签贴在FOSB上，再对贴好内ID标签和内警示标签的FOSB进行第二次拍照存储；

节拍6：判断工位C12和工位C22中是否存在上一个FOSB在进行操作并将FOSB移动到空闲的充氮工位相邻的充氮过渡工位中，若工位C22空闲则将FOSB从工位B移动到工位C21中；若工位C12空闲则将FOSB从工位B移动到工位C11中；

节拍7：根据节拍6中FOSB的移动，将FOSB从对应的充氮过渡工位移动到充氮工位中，若此时FOSB在工位C11中则将FOSB从工位C11移动到工位C12中；若此时FOSB在工位C21中则将FOSB从工位C21移动到工位C22中；

节拍8～28：FOSB在充氮工位中进行充氮操作，充氮耗时12min；

节拍29：根据当前FOSB的位置将其移动到相邻的充氮过渡工位中，若当前FOSB在工位C22中，则将FOSB从工位C22移动到C21中，若当前FOSb在工位C12中，则将FOSB从工位C12移动到工位C11；

节拍30：将FOSB从工位C11或C21中移动到工位D；

节拍31～33：在工位D中对FOSB进行放置干燥剂、湿度卡和第三次拍照操作；

节拍34：E工位进行包装袋上袋、铺开包装袋和撑开包装袋操作；

节拍35：将FOSB从工位D移动到工位E，FOSB进入工位E的包装袋中；

节拍36：工位E进行压袋操作；

节拍37：将FOSB从工位E移动到工位F，

节拍38～39：工位F进行套袋后的FOSB的抽真空、热封和整形操作；

节拍40：将FOSB从工位F移动到工位G，

节拍41～43：对FOSB进行胶带缠绕操作，同步打印FOSB的外ID标签，并将FOSB的外ID标签和外警示标签贴在FOSB上，再对贴好外ID标签和外警示标签的FOSB进行第四次拍照存储；

节拍44：将FOSB从工位G移动到工位I；

节拍45：将FOSB从工位I移动到工位J中，FOSB在工位J上进行下料操作。