[发明专利]一种宽温区可凝挥发物实时光谱测试装置和测试方法有效

专利信息
申请号: 202011396927.3 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN112525847B 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 孙丽崴;丁雷;李利兵;刘恩光;王凤丽 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G01N21/35 分类号: G01N21/35;G01N25/14;G05D23/24
代理公司: 北京惠科金知识产权代理有限公司 11981 代理人: 袁晓哲
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 宽温区可凝 挥发物 实时 光谱 测试 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种宽温区可凝挥发物实时光谱测试方法,使用的装置其特征在于,由测试模块、真空模块、温控模块和FTIR光谱仪构成;所述测试模块由包含测试仓、可置换的标准测试镜片和载物台;所述真空模块包含真空内腔和真空系统;所述真空内腔隔热安装在所述测试仓内,通过安装在所述测试仓的舱壁上的真空系统接口与位于所述测试仓外的所述真空系统连接;所述载物台水平安装在所述真空内腔里;所述标准测试镜片竖直安装在所述真空内腔里;

所述温控模块包含制冷系统和温控系统;所述制冷系统通过安装在所述测试仓的舱壁上的制冷系统接口连接到所述标准测试镜片;所述温控系统通过安装在所述测试仓的舱壁上的温控系统接口连接到所述载物台;

所述制冷系统的温度调节范围是20℃至-196℃;

所述温控系统的温度调节范围是20℃至200℃;

所述FTIR光谱仪用于检测所述标准测试镜片上的可凝挥发物的红外光谱特性,得到光谱测试的结果;

在所述测试仓相对的两个侧壁上,还对称安装有两片红外透视窗口;所述红外透视窗口的几何中心与所述FTIR光谱仪的通光口等高,并且调节所述标准测试镜片高度,使得同时穿过两个所述红外透视窗口的光线也穿过所述标准测试镜片;

在利用该装置进行光谱测试的过程中,包含以下步骤:

步骤S101、将待测样品置于所述载物台上,安装好所述标准测试镜片;

步骤S102、利用所述真空系统对所述真空内腔抽真空,使得所述真空内腔内的真空度满足实验需要;

步骤S103、利用所述制冷系统将所述标准测试镜片的温度设定在实验要求的温度上;

步骤S104、利用所述温控系统将所述载物台的温度设定在实验要求的温度上;

步骤S105、所述FTIR光谱仪的出射红外线从所述测试仓一侧的所述红外透视窗口进入,穿过所述标准测试镜片和另一侧的所述红外透视窗口后,被所述FTIR光谱仪的通光口接收,完成对在所述标准测试镜片上的冷凝物光谱信息的测试;如果测试时间小于对应当前温度的挥发冷凝时间,跳转到步骤S105,否则进入步骤S106;

步骤S106、如果完成了全部温度范围的测试,则完成测试退出,否则进入步骤S103设置新的实验温度进行测试。

2.根据权利要求1所述的宽温区可凝挥发物实时光谱测试方法,其特征在于,所述红外透视窗口采用的红外光学材料是硒化锌、硫化铟、砷化镓或硫化镉。

3.根据权利要求1所述的宽温区可凝挥发物实时光谱测试方法,其特征在于,所述温控系统包含加热片和测温电阻;所述测温电阻采集所述载物台的温度并反馈给所述加热片,调节所述载物台的温度。

4.根据权利要求1所述的宽温区可凝挥发物实时光谱测试方法,其特征在于,所述真空系统采用分子泵或者离子泵对所述真空内腔抽真空。

5.根据权利要求4所述的宽温区可凝挥发物实时光谱测试方法,其特征在于,所述真空内腔的真空度低于10 -4 Pa。

6.根据权利要求1所述的宽温区可凝挥发物实时光谱测试方法,其特征在于,所述制冷系统采用斯特林制冷机或脉管制冷机。

7.根据权利要求1所述的宽温区可凝挥发物实时光谱测试方法,其特征在于,所述待测样品为固态、液态或者胶状物;当所述待测样品为固态时,直接放置在所述载物台上,当所述待测样品是液态或者胶状物时,则涂抹在所述载物台上。

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