[发明专利]一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构

权利要求书

1.一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，包括安装箱（1）、切割机构（2）、打磨机构（3）、工作台（4）和制冷机构（23），其特征在于，所述切割机构（2）、所述打磨机构（3）和所述打磨机构（3）均固定安装在所述安装箱（1）内，所述切割机构（2）内固定安装有正反转动电机（18），所述正反转动电机（18）的输出端固定安装有主动螺纹杆（28），所述主动螺纹杆（28）啮合有齿轮组件（19），所述齿轮组件（19）的两侧均固定安装有第一螺纹杆（5），所述第一螺纹杆（5）上设有锥齿轮组件（6），所述锥齿轮组件（6）上设有第二螺纹杆（9），所述工作台（4）上固定安装有第一切割箱（7）和第二切割箱（10），所述第二螺纹杆（9）与所述第一切割箱（7）转动连接，所述第二螺纹杆（9）上螺纹安装有第一螺纹块（8），所述第二切割箱（10）内固定安装有立柱（11），所述立柱（11）上插接安装有移动块（12），所述移动块（12）和所述第一螺纹块（8）之间固定安装有安装杆（14），两个所述第一螺纹块（8）之间和同一侧的两个所述移动块（12）之间均固定安装有切割钢线（13）；

所述第一螺纹杆（5）上螺纹安装有第二螺纹块（21），所述打磨机构（3）内设有打磨室（20），所述打磨室（20）位于两个所述第一螺纹杆（5）之间，所述打磨室（20）的两侧壁均开设有移动槽（27），所述第一螺纹杆（5）上螺纹安装有位于所述打磨机构（3）内的第二螺纹块（21），所述第二螺纹块（21）固定安装有打磨板（22），所述打磨板（22）贯穿所述移动槽（27）位于所述打磨室（20）内，所述主动螺纹杆（28）的末端也固定安装有位于所述打磨室（20）内的所述打磨板（22）。

2.根据权利要求1所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述第一螺纹杆（5）位于贯穿所述打磨机构（3）与所述打磨机构（3）的侧壁转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述锥齿轮组件（6）包括固定安装在所述第一螺纹杆（5）上的主动锥齿轮和与其啮合的从动锥齿轮，所述锥齿轮组件（6）的从动锥齿轮固定安装有第二螺纹杆（9）。

4.根据权利要求1所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述第一切割箱（7）两个的数量为两个，所述第二切割箱（10）的数量为四个，两个所述第一切割箱（7）和四个所述第二切割箱（10）均呈对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述安装杆（14）分别贯穿所述第一切割箱（7）和所述第二切割箱（10）的侧壁，所述安装杆（14）上固定安装有稳定箱（15），所述稳定箱（15）内固定安装有弹簧（16），所述弹簧（16）固定安装有稳定板（17），所述稳定板（17）位于所述切割钢线（13）的下方，所述稳定板（17）位于所述工作台（4）的上方。

6.根据权利要求5所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述安装杆（14）的表面积大于所述第二切割箱（10）的表面积，所述第二切割箱（10）和所述第一切割箱（7）的大小一致。

7.根据权利要求2所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述切割机构（2）和所述打磨机构（3）固定连接，所述切割机构（2）位于所述打磨机构（3）的左侧，所述切割机构（2）的容积大于所述打磨机构（3）的容积。

8.根据权利要求1所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述安装箱（1）的两侧壁均开设有进出口（26），所述进出口（26）和所述工作台（4）呈水平设置。

9.根据权利要求1所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述安装箱（1）的内侧顶部固定安装有探明灯（25）。

10.根据权利要求1所述的一种基于精密制造技术的大口径单晶硅加工机构，其特征在于，所述制冷机构（23）包括压缩机、冷凝器、蒸发器和节流阀，所述制冷机构（23）的出风端固定并连通有两个制冷气管（24）。