[发明专利]探针卡载侧出气孔

权利要求书

1.探针卡载侧出气孔，其特征在于，按照恒温空气流动方向，横截面积逐渐增大，在侧出气孔（1-2）的外端部，形状为宽度大于高度的矩形；在侧出气孔（1-2）的外端部下方，转轴连接有挡板（1-2-1），所述挡板（1-2-1）的另一侧边缘安装有拉绳（1-2-2），所述拉绳（1-2-2）从侧出气孔（1-2）的上方穿出，在侧出气孔（1-2）的上方，还设置有拉绳固定端（1-2-3），所述拉绳固定端（1-2-3）包括框架（1-2-3-1），设置在框架（1-2-3-1）中并能够沿框架（1-2-3-1）上下运动的固定板（1-2-3-2），位于固定板（1-2-3-2）下方和框架（1-2-3-1）底部上方的压簧（1-2-3-3），位于框架（1-2-3-1）上方的开关（1-2-3-4），所述开关（1-2-3-4）通过穿过框架（1-2-3-1）的支架（1-2-3-5）连接到固定板（1-2-3-2）上，拉绳（1-2-2）从固定板（1-2-3-2）的上方穿过框架（1-2-3-1），在压簧（1-2-3-3）的作用下，挤在固定板（1-2-3-2）与框架（1-2-3-1）之间，需要调整的时候，按动开关（1-2-3-4），使固定板（1-2-3-2）向下运动，调整拉绳（1-2-2），在调整好位置后，松开开关（1-2-3-4）即可；

所述的探针卡载侧出气孔，用于功率器件高温高压测试探针卡；

所述功率器件高温高压测试探针卡从上到下依次设置进气系统（1）、PCB板（2）、转接层（3）、导引板（4）和探针（5）；所述进气系统（1）底部具有多个下出气孔（1-1）和侧出气孔（1-2），所述PCB板（2）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第一通孔（2-1），所述转接层（3）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第二通孔（3-1），所述导引板（4）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第三通孔（4-1），下出气孔（1-1）、第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）同轴设置，从下出气孔（1-1）喷射出的高温高压气体，依次经过第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）后，吹入导引板（4）与被测晶圆（6）之间；

所述进气系统（1）还包括泄压孔（1-3），所述泄压孔（1-3）底部还设置有调节阀（1-4）；所述调节阀（1-4）为三层阶梯结构，包括截面直径依次减小的下层阶梯（1-4-1）、中层阶梯（1-4-2）和上层阶梯（1-4-3），所述下层阶梯（1-4-1）和中层阶梯（1-4-2）之间设置有密封圈（1-4-4），下层阶梯（1-4-1）的截面直径大于泄压孔（1-3）截面直径，中层阶梯（1-4-2）的截面直径与泄压孔（1-3）截面直径之间为间隙配合关系，上层阶梯（1-4-3）套有螺纹；所述泄压孔（1-3）内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件（1-5），所述调整件（1-5）包括接触端（1-5-1）、连接端（1-5-2）和螺纹端（1-5-3），所述接触端（1-5-1）为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔（1-3）的内壁，所述连接端（1-5-2）为多个，在圆周方向均匀分布，每个连接端（1-5-2）均连接在接触端（1-5-1）内壁与螺纹端（1-5-3）之间，所述螺纹端（1-5-3）外壁套有螺纹，且与上层阶梯（1-4-3）的螺纹参数相同，螺纹端（1-5-3）底部设置有一字或十字凹槽，弹簧（1-6）分别连接在上层阶梯（1-4-3）外壁与螺纹端（1-5-3）外壁之间。

2.根据权利要求1所述的探针卡载侧出气孔，其特征在于，泄压结构的标定方法包括以下步骤：

步骤a、设定高温高压气体压强阈值；

步骤b、将调整件（1-5）的接触端（1-5-1）旋拧入泄压孔（1-3）中；

步骤c、将弹簧（1-6）的上端旋拧在调整件（1-5）的螺纹端（1-5-3），将弹簧（1-6）的下端旋拧在调节阀（1-4）的上层阶梯（1-4-3），将调节阀（1-4）的下端连接拉力测量装置；

步骤d、拉动拉力测量装置，弹簧伸长，至拉力测量装置显示的拉力数值除以中层阶梯（1-4-2）截面直径等于压强阈值的位置；

步骤e、测量进气系统（1）底部距离中层阶梯（1-4-2）的距离；

步骤f、拆卸拉力测量装置、调节阀（1-4）和弹簧（1-6）；

步骤g、旋拧调整件（1-5），使调整件（1-5）沿泄压孔（1-3）向上运动步骤e所述的距离；

步骤h、将弹簧（1-6）的上端旋拧在调整件（1-5）的螺纹端（1-5-3），将弹簧（1-6）的下端旋拧在调节阀（1-4）的上层阶梯（1-4-3）。