[发明专利]探针卡载双进气道装置

权利要求书

1.探针卡载双进气道装置，其特征在于，按照空气流动方向，所述探针卡载双进气道装置包括空气泵（1-7-1），第一三通阀门（1-7-2），连接第一三通阀门（1-7-2）第一出口的高温高压箱（1-7-3），连接第一三通阀门（1-7-2）第二出口的常温高压箱（1-7-4），所述高温高压箱（1-7-3）中设置有电阻丝（1-7-3-1）、温度传感器（1-7-3-2）和第一压强计（1-7-3-3），所述常温高压箱（1-7-4）中设置有第二压强计（1-7-4-1），所述高温高压箱（1-7-3）有两个出口，第一出口通过第一阀门（1-7-5）连接下出气孔（1-1），第二出口连接第二三通阀门（1-7-6），所述第二三通阀门（1-7-6）还分别连接常温高压箱（1-7-4）的出口和第二阀门（1-7-7），所述第二阀门（1-7-7）连接侧出气孔（1-2）；

所述的探针卡载双进气道装置用于功率器件高温高压测试探针卡；所述功率器件高温高压测试探针卡从上到下依次设置进气系统（1）、PCB板（2）、转接层（3）、导引板（4）和探针（5）；所述进气系统（1）底部具有多个所述下出气孔（1-1）和所述侧出气孔（1-2），所述PCB板（2）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第一通孔（2-1），所述转接层（3）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第二通孔（3-1），所述导引板（4）上分布有与下出气孔（1-1）位置、形状和数量均相同的第三通孔（4-1），下出气孔（1-1）、第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）同轴设置，从下出气孔（1-1）喷射出的高温高压气体，依次经过第一通孔（2-1）、第二通孔（3-1）和第三通孔（4-1）后，吹入导引板（4）与被测晶圆（6）之间。

2.根据权利要求1所述的探针卡载双进气道装置，其特征在于，所述进气系统（1）还包括泄压孔（1-3），所述泄压孔（1-3）底部还设置有调节阀（1-4）；所述调节阀（1-4）为三层阶梯结构，包括截面直径依次减小的下层阶梯（1-4-1）、中层阶梯（1-4-2）和上层阶梯（1-4-3），所述下层阶梯（1-4-1）和中层阶梯（1-4-2）之间设置有密封圈（1-4-4），下层阶梯（1-4-1）的截面直径大于泄压孔（1-3）截面直径，中层阶梯（1-4-2）的截面直径与泄压孔（1-3）截面直径之间为间隙配合关系，上层阶梯（1-4-3）套有螺纹；所述泄压孔（1-3）内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件（1-5），所述调整件（1-5）包括接触端（1-5-1），连接端（1-5-2）和螺纹端（1-5-3），所述接触端（1-5-1）为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔（1-3）的内壁，所述连接端（1-5-2）为多个，在圆周方向均匀分布，每个连接端（1-5-2）均连接在接触端（1-5-1）内壁与螺纹端（1-5-3）之间，所述螺纹端（1-5-3）外壁套有螺纹，且与上层阶梯（1-4-3）的螺纹参数相同，螺纹端（1-5-3）底部设置有一字或十字凹槽，弹簧（1-6）分别连接在上层阶梯（1-4-3）外壁与螺纹端（1-5-3）外壁之间。