[发明专利]一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法

权利要求书

1.一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，设置光谱仪积分时间为t以及采集帧数为n*N₁,进行光谱采集并保存；n为单个周期所需采集帧数，N₁为采集周期数；

S2，从中提取所有周期内所有帧数在波长点λ₂的光谱数据，并绘制光谱曲线图，得到包含有N₁条光谱曲线的第一曲线图，并计算第一曲线图中光谱曲线线宽D；所述在波长点λ₂的光谱数据的特征为该波长点在不同周期内的变化趋势为上下震动；

S3，对所述光谱仪积分时间t进行调制，并重复步骤S1和步骤S2，绘制光谱曲线图，若无论增加或减小积分时间，调制后的光谱曲线图中光谱曲线线宽均大于调制前的光谱曲线线宽D，则光谱仪积分时间t即为最佳积分时间，此时电机与光谱仪同步；

所述光谱曲线线宽表示光谱曲线图中不同曲线在相同波长点下同一帧数点的差值的最大值。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的步骤S3包括：

持续增大或减小光谱仪积分时间，使得调整后的光谱曲线图中光谱曲线线宽逐渐减小，若调整后的光谱曲线图中光谱曲线线宽大于调整前的光谱曲线图中光谱曲线线宽，则认为调整前的光谱曲线图对应的光谱仪积分时间为最佳积分时间，此时电机与光谱仪同步。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述的步骤S3包括：

S31，调整光谱仪积分时间为t₁，t₁t，重复步骤1和步骤2，得到第二曲线图,并计算第二曲线图中光谱曲线线宽D₁；

S32，调整光谱仪积分时间为t₂，t₂t，重复步骤1和步骤2，得到第三曲线图，并计算第三曲线图中光谱曲线线宽D₂；

S33，若D₁DD₂，则需进一步减小光谱仪积分时间，若D₁DD₂，则需进一步增大光谱仪积分时间；直至曲线图i+1中光谱曲线线宽D_i+1大于曲线图i中光谱曲线线宽D_i，则曲线图i对应的积分时间即为最佳时间，此时电机与光谱仪同步。