[发明专利]标记打印装置及使用其打印标记的方法

说明书

一种标记打印装置，包括沿着架空式起重运输机的驱动轨道驱动的驱动单元，安装在驱动单元上并在驱动轨道上打印用于引导车辆沿驱动轨道的驱动运动的标记的打印单元，从服务器接收设计数据的数据处理单元，其包括驱动轨道的设计信息以及有关待在驱动轨道上打印的标记的位置和类型的信息，配置为计算设置在驱动单元中的伺服电动机的旋转量以检测驱动单元的当前位置和驱动单元在驱动轨道中驱动距离的编码器单元，以及控制驱动单元和打印单元以通过使用设计数据和有关驱动单元当前位置和驱动距离的信息在驱动轨道上打印标记的控制单元。

技术领域

本公开涉及一种标记打印装置以及使用其打印标记的方法，更具体地，涉及一种在架空式起重运输机(OHT)的驱动轨道上打印标记以引导车辆运动的标记打印装置，以及使用其打印标记的方法。

背景技术

通常，用于制造半导体器件的半导体加工设备通常连续设置以在半导体衬底上执行各种处理。对目标执行制造半导体器件的多个过程，并且将目标容纳在盒中并提供给每个半导体加工设备或从每个半导体加工设备中取出。

盒通过架空式起重运输机来转移。架空式起重运输机包括沿安装有半导体加工设备的空间的天花板设置的驱动轨道，以及配置成抓握盒并沿着驱动轨道行驶的车辆。

用于雕刻关于车辆的行驶和停止状态以及盒的装载和卸载状态的信息的标记打印在驱动轨道上，并且车辆可在检测标记的同时沿着驱动轨道行驶。

根据现有技术，标记使用滚动塔手动地打印在驱动轨道上。为了使用滚动塔进行工作，需要大量的人员，例如移动滚动塔的人员和在滚动塔上工作的人员，并且可能需要大量的工作时间。

另外，由于标记是手动打印的，因此标记打印操作的准确性可能很差。

另外，当车辆发生故障时，滚动塔中的工人可能发生安全事故。

发明内容

本发明提供了一种能够在架空式起重运输机的驱动轨道上自动打印标记的标记打印装置。

本发明提供了一种使用标记打印装置的标记打印方法。

根据本公开一个方面，一种标记打印装置可包括：驱动单元，其沿着架空式起重运输机的驱动轨道驱动；安装在驱动单元上的打印单元，其配置为在驱动轨道上打印用于引导车辆沿驱动轨道驱动运动的标记；从服务器接收设计数据的数据处理单元，设计数据包括驱动轨道的设计信息以及有关待在驱动轨道上打印的标记的位置和类型的第一信息；配置为计算设置在驱动单元中的伺服电动机的旋转量以检测驱动单元的当前位置和驱动单元在驱动轨道中的驱动距离的编码器单元；以及控制单元，其配置为控制驱动单元和打印单元以通过使用设计数据和有关驱动单元当前位置和驱动距离的第二信息在驱动轨道上打印标记。

根据本公开一些示例性实施例，打印单元可包括配置为在驱动轨道上打印标记的打印机，以及配置为移动打印机使其与驱动轨道相邻或隔开的电动机。

根据本公开一些示例性实施例，打印单元还可包括容纳打印机的盖，该盖与在驱动轨道上打印标记的打印表面接触以抑制打印机打印标记时生成的颗粒飞散，电动机还移动盖使其与驱动轨道接触或隔开。

根据本公开一些示例性实施例，打印单元还可包括安装在盖上的泵，泵通过穿过盖的通道使空气在盖内循环；以及设置在通道上的过滤器，过滤器收集空气中包含的颗粒。

根据本公开一些示例性实施例，盖包括与驱动轨道的打印表面接触的部分，盖的该部分由弹性材料制成。

根据本公开一些示例性实施例，标记打印装置可包括传感器单元，其检测由打印单元在驱动轨道上打印的标记的位置和类型。

根据本公开一些示例性实施例，数据处理单元可将待打印标记的位置和类型与已打印标记的位置和类型进行比较，当比较结果匹配时，可生成有关驱动轨道以及已打印标记的位置和类型的实际数据。