[发明专利]一种气浮轴承的轴向负载震动检测装置

说明书

本发明公开了一种气浮轴承的轴向负载震动检测装置，包括检测台主体，所述检测台主体上设有气浮轴承定位机构，所述气浮轴承定位机构内固定有呈水平横向状态的气浮轴承，所述气浮轴承上固定有水平设置的转动轴，所述检测台主体上设有用于对转动轴的轴向施加负载力的可变负载机构，所述检测台主体设有对气浮轴承进行震动检测的检测机构，所述转动轴与施压推块抵触的一端设有旋转块；所述检测台主体上设有用于驱动转动轴转动的驱动机构。本发明能够对气浮轴承的轴向施加负载力，来对气浮轴承的轴向负载状态下的震动特性进行检测，能充分全面的反应气浮轴承振动特性。

技术领域

本发明涉及轴承制造技术领域，特别涉及一种气浮轴承的轴向负载震动检测装置。

背景技术

随着科技的发展，常采用气体润滑代替普通的机械润滑，气浮轴承就是将高压气体引入相对运动的物体间隙内形成气膜，避免直接接触实现无摩擦运动。气浮轴承作为滑动轴承的一个新类型，气浮轴承因具有精度高、无摩擦、无磨损、无需保养、环境适应能力强、低速时不出现爬行和滞后等卓越性能而广泛应用于微电子制造及其测量领域。通过优化结构参数及相应的位置伺服控制系统，目前气浮平台的定位精度已经达到纳米级，最大加速度超过10g，行程大于1000mm，满足诸多微电子制造及其测量设备对运动定位载体的要求。受节流形式、气膜厚度、预载方式、几何形状、加工精度、供气压力及工况等诸多因素的影响，气浮轴承内的压力气体在极短时间内流动状态发生多次变化，气膜间隙内的压力波动使气体轴承产生振幅从几纳米到几十纳米，频率从几十赫兹到几千赫兹的宽频微幅自激振动。与运动方向垂直的振动分量影响加工和测量精度，沿运动方向的振动分量影响进给精度和定位精度。气浮轴承轴承加工完成后，需要检测轴承各零件之间的配合情况，如果零件之间配合有问题，就会产生异常的振动。而现有的气浮轴承的震动检测装置不能对气浮轴承的轴向承载能力进行测试，不能充分全面的反应气浮轴承振动特性。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种气浮轴承的轴向负载震动检测装置。本发明能够对气浮轴承的轴向施加负载力，来对气浮轴承的轴向负载状态下的震动特性进行检测，能充分全面的反应气浮轴承振动特性。

本发明的技术方案：一种气浮轴承的轴向负载震动检测装置，包括检测台主体，所述检测台主体上设有气浮轴承定位机构，所述气浮轴承定位机构内固定有呈水平横向状态的气浮轴承，所述气浮轴承上固定有水平设置的转动轴，所述检测台主体上设有用于对转动轴的轴向施加负载力的可变负载机构，所述检测台主体设有对气浮轴承进行震动检测的检测机构，所述可变负载机构包括设置在检测台主体竖直向上的第二定位架，所述第二定位架上设有固定块，所述固定块上固定有施力气缸，所述施力气缸的顶部设有与转动轴平行设置的底座，所述底座上设有行程腔，所述行程腔内设有活动块，所述行程腔内端部设有压力传感器，所述活动块与压力传感器之间设有弹簧，所述弹簧与压力传感器之间设有防护推板，所述活动块的外端部经定位杆设有施压推块，所述转动轴与施压推块抵触的一端设有旋转块；所述检测台主体上设有用于驱动转动轴转动的驱动机构。

前述的气浮轴承的轴向负载震动检测装置中，所述检测机构包括设置在L型的第一定位架，所述第一定位架上设有滑动块，所述滑动块固定有竖直向下的螺纹筒，所述螺纹筒上设有转动丝杆，所述转动丝杆的底端设升降块，所述升降块内设有活动腔，所述活动腔的顶部设有压电传感器，所述活动腔内设有竖直向下的检测探杆，所述检测探杆的顶端与压电传感器之间设有伸缩弹簧，所述检测探杆的底端与气浮轴承的外壁相接触。

前述的气浮轴承的轴向负载震动检测装置中，所述升降块与固定块之间设有限位机构，所述限位机构包括设置在固定块上是的限位套筒，所述升降块上设有穿过限位套筒的限位滑杆。

前述的气浮轴承的轴向负载震动检测装置中，所述气浮轴承定位机构包括经支撑架固定在检测台主体上的定位圈，所述定位圈上设有紧固螺杆，所述紧固螺杆上设有用于夹持气浮轴承的弧形夹持块。