[发明专利]一种推挽式扫描光栅

权利要求书

1.一种推挽式扫描光栅，其特征在于，包括，支撑框架、反射光栅、扭转梁、用于驱动所述反射光栅扭转的电磁推挽驱动器和用于检测所述光栅扭转角度的角度传感器；

所述反射光栅通过分布于两侧边且位置对称设置的两个扭转梁与所述支撑框架连接；所述两个扭转梁的轴线与所述反射光栅侧边的中线重合；所述角度传感器设置于其中一个所述扭转梁与所述支撑框架的连接处；所述电磁推挽驱动器包括驱动线圈和两个驱动电极；通过所述驱动电极输入驱动信号，控制设置于所述反射光栅的中线两侧边的驱动线圈形成流向相反的电流，驱动所述反射光栅扭转。

2.根据权利要求1所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，所述驱动线圈分别从两个驱动电极引出，并在所述反射光栅侧边的中线的两侧面上分别形成回形线圈；所述光栅侧边的中线两侧分别设置有连接电极，两侧的所述回形线圈通过所述连接电极导通，所述驱动电极和所述驱动线圈通过所述连接电极形成驱动信号回路。

3.根据权利要求1所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，两侧的所述回形线圈位置沿所述光栅侧边中线对称。

4.根据权利要求2所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，两侧的所述连接电极分别设置于对应反射光栅两侧面的中心位置。

5.根据权利要求3所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，通过改变所述回形线圈的缠绕圈数，改变所述反相光栅的最大扭转角度和工作频率。

6.根据权利要求1所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，所述角度传感器检测对应位置的所述扭转梁的扭转应力，根据所述扭转应力获取所述反射光栅的扭转角度对应的信号。

7.根据权利要求6所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，所述角度传感器包括压阻单元和压阻电极，所述压阻单元与所述压阻电极连接；所述压阻单元检测对应位置的所述扭转梁的扭转应力，并通过所述压阻电极输出压阻信号。

8.根据权利要求6所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，所述压阻单元包括两个沿所述扭转梁轴向对称设置的压阻传感器；所述压阻电极包括沿所述扭转梁轴向对称设置的第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极分别连接其中一个所述压阻传感器；通过两个压阻传感器形成差分压阻信号。

9.根据权利要求1所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，所述反射光栅的光栅常数不大于0.4微米。

10.根据权利要求1所述的推挽式扫描光栅，其特征在于，所述反射光栅包括硅结构层和光学反射层，所述光学反射层采用MEMS工艺制作在所述硅结构层上；所述扭转梁的一端通过所述硅结构层与所述反射光栅连接，另一端通过所述硅结构层及所述支撑框架连接。