[发明专利]一种基于单色系统的多限位标准球面镜头

说明书

本发明提供一种基于单色系统的多限位标准球面镜头，属于激光干涉仪用标准镜头领域，可以在多种波长下工作，其特征在于，包括：镜头主体，具有第一镜筒以及设置在第一镜筒内的单波长透镜组；以及移动透镜单元，具有套设在第一镜筒上的第二镜筒以及设置在第二镜筒内的参考透镜，用于获得使用波长，其中，单波长透镜组与参考透镜互相平行且光轴重合，第一镜筒的外壁设置有第一限位件，第二镜筒远离参考透镜的端面设置有活动件，当活动件移动至第一位置时，活动件与第一限位件相抵接，移动透镜单元获得第一使用波长，当活动件移动至第二位置时，活动件与第二限位件相抵接，移动透镜单元获得第二使用波长。

技术领域

本发明属于激光干涉仪用标准镜头领域，具体涉及一种基于单色系统的多限位标准球面镜头。

背景技术

不同的光学系统需要根据要求在特定波段设计，干涉仪可以对光学系统的波像差，系统整体成像质量进行检测，这个过程是系统最终调整和质量检验的关键。

激光干涉仪的工作波长主要为单一波长，而光学系统的应用非常广泛且多变，如光刻系统、DVD和红外成像系统等都需要特定波长进行检测，以显示其所需要的波长变化的要求，因此干涉仪公司根据不同的波长制造特定的干涉仪。现有的产品包括405nm、543.5nm、632.8nm、1053nm和1064nm等干涉仪。

目前，标准球面镜头根据波长设计，标准镜头的性能指标很高，且需要保证参考面的球心与标准镜头的焦点重合，当改变使用波长时，由于镜头的焦点发生变化，导致标准镜头无法使用，因此标准球面镜头只能在其设计波长下使用，即标准球面镜头为单波长镜头。每种特殊波长激光干涉仪都需要额外配置相应的标准球面镜头，而标准球面镜头中的用于作为参考表面的透镜，由于需要使用高档材料且面形加工精度高，所以造价昂贵。

此外专利CN210222343U公开了一种可变波长标准球面镜头，通过改变透镜间隔的方式改变标准镜头的工作波长，虽然该标准镜头能够改变工作波长，但由于机械加工公差的限制以及光学系统的调整精度的影响，在实际中这种方法设计出的镜头仅适用于公差较松，相对孔径较小(F数较大)的标准球面镜头，而很多更小F数可变波长标准球面镜头无法使用相同的方法加工制造。

发明内容

为解决上述问题，提供一种基于单色系统的多限位标准球面镜头，本发明采用了如下技术方案：

本发明提供了一种基于单色系统的多限位标准球面镜头，可以在多种波长下工作，其特征在于，包括：镜头主体，具有第一镜筒以及设置在第一镜筒内的单波长透镜组；以及移动透镜单元，具有套设在第一镜筒上的第二镜筒以及设置在第二镜筒内的参考透镜，用于获取第一使用波长以及第二使用波长，其中，单波长透镜组与参考透镜互相平行且光轴重合，第一镜筒的外壁设置有第一限位件，第二镜筒远离参考透镜的端面设置有活动件，第一镜筒靠近参考透镜的端面设置有第二限位件，第一限位件与活动件相抵接限制移动透镜单元向靠近第一镜筒的方向移动，当活动件移动至第一位置时，活动件与第一限位件相抵接，移动透镜单元获得第一使用波长，活动件与第二限位件相抵接限制移动透镜单元向远离第一镜筒的方向移动，当活动件移动至第二位置时，活动件与第二限位件相抵接，移动透镜单元获得第二使用波长。

本发明提供的基于单色系统的多限位标准球面镜头，还可以具有这样的特征，其中，第一限位件靠近第二镜筒的一面为第一限位面，活动件具有面对第一限位面设置的第二限位面，以及面对参考透镜设置的第三限位面，第二限位件面对活动件的一面为第四限位面，第一限位面与第二限位面相抵接限制移动透镜单元向靠近第一镜筒的方向移动，当第一限位面与第二限位面相抵接时，单波长透镜组与参考透镜之间的距离为第一距离，移动透镜单元获得第一使用波长，第三限位面与第四限位面相抵接限制移动透镜单元向远离第一镜筒的方向移动，当第三限位面与第四限位面相抵接时，单波长透镜组与参考透镜之间的距离为第二距离，移动透镜单元获得第二使用波长。