[发明专利]一种楔形超薄光学玻璃加工工艺

权利要求书

1.一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于,包括如下步骤：

步骤1：放置待加工的光学玻璃，将待加工的光学玻璃放置于抛光机的固定工具上进行固定；

步骤2：粗磨，使用抛光机对光学玻璃表面进行粗磨加工；

步骤3：精磨，粗磨尺寸达到要求后，使用预先勾兑的抛光液，在气压为0，转速5r/min的条件下进行面型修正，修正时间为40～60min；

步骤4：质检，角度最大误差30秒、高度最大误差0.02mm、面型精度1/4@632.8nm的产品为合格产品，对合格产品进行入库即可。

2.如权利要求1所述的一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于，所述步骤1中，在光学玻璃与抛光机的固定工具进行固定时，采用真空吸附方式进行固定，确保产品与工具用光面相贴，同时不可出现光圈。

3.如权利要求1所述的一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于，所述精磨的铣磨面平行度控制在0.003mm以内。

4.如权利要求3所述的一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于，所述精磨用的抛光液pH值为0.05。

5.如权利要求1～4任一所述的一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于，在步骤1放置待加工的光学玻璃前，对抛光工具的精密度进行校验，控制工具最大角度误差5秒、最大高度误差0.005mm。

6.如权利要求1所述的一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于，在步骤2粗磨完成后，对光学玻璃进行清洗，清洗步骤包括如下：

步骤1：将事先调配的酸洗剂倒入塑料容器上方的漏斗中；

步骤2：将光学玻璃置于塑料容器内漏斗正下方位置悬空；

步骤3：打开漏斗的阀门使酸洗剂均匀浇在光学玻璃的粗磨面上；

步骤4：使用超细纤维无尘布擦拭清洗光学玻璃；

步骤5：将光学玻璃置于密闭空间内进行干燥。

7.如权利要求6所述的一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于，所述步骤5中，干燥采用真空干燥方式进行，真空度0.08MPa。

8.如权利要求7所述的一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于，所述步骤5中，在进行真空干燥前，将光学玻璃置于温度60～65℃的蒸馏水中静置15～20min，再取出进行真空干燥。

9.如权利要求6所述的一种楔形超薄光学玻璃加工工艺，其特征在于，所述酸洗剂的成分为：12～15wt%的有机酸、3～5wt%的助洗挤、12～19wt%的螯合剂、1.5～2.8wt%的表面活性剂、0.7wt%的分散剂以及余量的水。