[发明专利]一种气液辅助激光加工微孔的方法及装置

权利要求书

1.一种气液辅助激光加工微孔的方法，其特征在于，发射激光束加工待加工位置，同时采用与所述激光束同轴的辅助气体喷射加工位置，同时采用与所述激光束的轴线成一定夹角的辅助液体喷射加工位置；

加工参数如下：激光脉冲宽度为0.5～0.8ms、激光脉冲频率为60～100HZ、激光功率百分比为70～90％、激光离焦量为-1～1mm、进给速度为60～80mm/min；气体压力为0.6～0.8MPa、气体流量为0.8～1.2Nm³/s、气体开关时间间隔为0～1s，其中，0表示常开；液体流量为0.8～1.5L/min、液体压力为6～12MPa、液体温度为15～20℃、液体开关时间间隔为0～10s，其中，0表示常开。

2.根据权利要求1所述的一种气液辅助激光加工微孔的方法，其特征在于，所述辅助液体对加工位置以柱状喷射或雾状喷射。

3.一种气液辅助激光加工微孔的装置，其特征在于，用于实现权利要求1或2的方法，包括激光喷嘴头部(4)，所述激光喷嘴头部(4)的中心开设有用于发射激光束的激光光束通道(1)；

在所述激光喷嘴头部(4)上绕所述激光光束通道(1)的轴线均布开设有若干辅助气体通道(2)，每个所述辅助气体通道(2)的一端用于输入辅助气体，另一端与所述激光光束通道(1)连通，辅助气体通过所述激光光束通道(1)能够与激光束同轴喷射在加工位置；

在所述激光喷嘴头部(4)上绕所述激光光束通道(1)的轴线均布开设有若干辅助液体通道(3)，每个所述辅助液体通道(3)的一端用于输入辅助液体，另一端连接有喷嘴，每个所述喷嘴的轴线与所述激光光束通道(1)的轴线成一定夹角，辅助液体通过所述喷嘴能够喷射在加工位置。

4.根据权利要求3所述的一种气液辅助激光加工微孔的装置，其特征在于，每个所述喷嘴为能够喷射柱状液体的柱状喷嘴(5)。

5.根据权利要求3所述的一种气液辅助激光加工微孔的装置，其特征在于，每个所述喷嘴为能够喷射雾状液体的雾状喷嘴(6)。

6.根据权利要求4所述的一种气液辅助激光加工微孔的装置，其特征在于，每个所述柱状喷嘴(5)上可拆卸连接有雾状喷嘴(6)。

7.根据权利要求6所述的一种气液辅助激光加工微孔的装置，其特征在于，每个所述柱状喷嘴(5)的轴线与所述激光光束通道(1)的轴线之间的夹角为35°～45°；每个所述雾状喷嘴(6)的轴线与所述激光光束通道(1)的轴线之间的夹角为35°～45°。

8.根据权利要求3所述的一种气液辅助激光加工微孔的装置，其特征在于，还包括第一控制模块和第二控制模块，所述第一控制模块用于控制辅助气体按照预设参数输出，所述第二控制模块用于控制辅助液体按照预设参数输出。

9.根据权利要求8所述的一种气液辅助激光加工微孔的装置，其特征在于，所述第一控制模块包括第一模拟量控制模块和第一数字量控制模块，所述第一模拟量控制模块用于控制气体流量和气体压力参数量，所述第一数字量控制模块用于控制气体开与关及气体开关时间间隔参数量；所述第二控制模块包括第二模拟量控制模块和第二数字量控制模块，所述第二模拟量控制模块用于控制液体流量、液体压力和液体温度参数量，所述第二数字量控制模块用于控制液体开与关及液体开关时间间隔参数量。