[发明专利]一种无磷复合缓蚀剂及应用

权利要求书

1.一种无磷复合缓蚀剂，其包括葡萄糖酸盐与三乙醇胺的缩合反应产物、聚天冬氨酸、含磺酸基共聚物和锌盐，其中所述葡萄糖酸盐为葡萄糖酸钠和/或葡萄糖酸钾。

2.根据权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于，所述葡萄糖酸盐与三乙醇胺的缩合反应产物和聚天冬氨酸的质量比为1:0.1-1.5，优选为1:0.20-1.33，更优选为1:0.3-0.8；

和/或所述葡萄糖酸盐与三乙醇胺的缩合反应产物和含磺酸基共聚物的质量比为1:0.4-4.0；

和/或所述葡萄糖酸盐与三乙醇胺的缩合反应产物和锌盐的质量比为1:0.1-1.0，其中锌盐的重量以锌离子计。

3.根据权利要求1或2所述的缓蚀剂，其特征在于，所述葡萄糖酸盐与三乙醇胺的缩合反应产物的制备方法包括使葡萄糖酸盐与三乙醇胺在酸催化剂存在下进行缩合反应，优选地，所述三乙醇胺与葡萄糖酸盐的摩尔比为(0.15-6):1，所述酸催化剂选自硫酸和/或硝酸，所述酸催化剂以氢离子计与葡萄糖酸盐的摩尔比为(0.2-6):1；

和/或所述葡萄糖酸盐与三乙醇胺的缩合反应产物的分子量分布在300-700。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的缓蚀剂，其特征在于，所含磺酸基共聚物选自丙烯酸、2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸和丙烯酸羟丙酯的三元共聚物，丙烯酸与2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸的共聚物，羧酸盐-磺酸盐-非离子共聚物，丙烯酸和苯乙烯磺酸的共聚物，丙烯酸和磺酸盐的二元共聚物，丙烯酸、丙烯酰胺和2-甲基-2'-丙烯酰胺基丙烷磺酸的三元共聚物，丙烯酸酯和苯乙烯磺酸的共聚物，丙烯酸和烯丙基磺酸的共聚物，丙烯酸、丙烯酸酯和2-甲基-2'-丙烯酰胺基丙烷磺酸的三元共聚物，丙烯酸和乙烯磺酸的共聚物，丙烯酸和2-甲基-2'-丙烯酰胺基丙烷磺酸的共聚物中一种或多种；

优选地，所述丙烯酸酯选自丙烯酸C1-C8酯中的一种或多种；

更优选地，所述丙烯酸酯选自丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯和丙烯酸羟丙酯中的一种或多种。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的缓蚀剂，其特征在于，所述锌盐选自水溶性锌盐中的一种或多种，优选选自硫酸锌和/或氯化锌。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的缓蚀剂，其特征在于，所述缓蚀剂还包括杂环化合物。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的缓蚀剂，其特征在于，所述杂环化合物选自巯基苯并噻唑和/或苯并三氮唑；

和/或所述葡萄糖酸盐与三乙醇胺的缩合反应产物和杂环化合物的质量比为1:0.1-0.8。

8.一种根据权利要求1-7中任意一项所述的缓蚀剂在处理循环冷却水中的应用。

9.根据权利要求8所述的应用，其特征在于，所述循环冷却水为密闭循环冷却水，

优选地，所述密闭循环冷却水的补充水为地下水，和/或所述密闭循环冷却水的温度为12-20℃，优选为15-18℃。

10.根据权利要求8或9所述的应用，其特征在于，所述缓蚀剂的投加量使得所述葡萄糖酸盐与三乙醇胺的缩合反应产物在循环冷却水中的浓度为1.5-5mg/L、所述聚天冬氨酸在循环冷却水中的浓度为1-2mg/L、所述含磺酸基共聚物在循环冷却水中的浓度为2-6mg/L、所述锌盐在循环冷却水中的浓度为0.5-1.5mg/L和所述杂环化合物在循环冷却水中的浓度为0或0.5-1.0mg/L，其中，锌盐的浓度以锌离子计。