[发明专利]一种消振装置有效
申请号: | 202011025783.0 | 申请日: | 2020-09-25 |
公开(公告)号: | CN114251413B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 刘赟;李豫川;袁志扬 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | F16F15/073 | 分类号: | F16F15/073;F16F15/02;F16F15/28 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
1.一种消振装置,其特征在于,包括:
基座(1),用于连接振动物体;
簧片(2),与所述基座(1)固定连接,所述簧片(2)与所述基座(1)之间形成容置空间;
刚度调节机构(3),固定连接所述基座(1)和所述簧片(2),所述刚度调节机构(3)相对于所述簧片(2)的位置可调节以改变所述簧片(2)的刚度使得所述消振装置的固有频率可调节,所述消振装置的固有频率小于所述振动物体的固有频率;
质量块(4),与所述基座(1)滑动连接,所述质量块(4)的一端与所述簧片(2)固定;
电机,设置于所述基座(1)上,所述电机的输出端能够驱动所述质量块(4)直线移动以对所述振动物体施加反向作用力。
2.根据权利要求1所述的消振装置,其特征在于,所述刚度调节机构(3)包括:
支撑块(31),设置于所述簧片(2)与所述基座(1)之间;
第一锁紧件(32),固定所述簧片(2)、所述支撑块(31)与所述基座(1)。
3.根据权利要求2所述的消振装置,其特征在于,所述簧片(2)上开设有长条孔,所述支撑块(31)上开设有通孔,所述基座(1)上间隔开设有多个螺纹孔,所述第一锁紧件(32)穿过所述长条孔和所述通孔与所述螺纹孔螺接。
4.根据权利要求2所述的消振装置,其特征在于,所述刚度调节机构(3)还包括:
滑动块(34),与所述基座(1)滑动连接,所述第一锁紧件(32)固定所述簧片(2)、所述支撑块(31)与所述滑动块(34);
第二锁紧件(35),与所述基座(1)转动连接且与所述滑动块(34)螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的消振装置,其特征在于,所述簧片(2)设置有两个,对应每个所述簧片(2)设置有所述支撑块(31)和所述第一锁紧件(32),相对的两个所述第一锁紧件(32)共用一个所述滑动块(34),所述滑动块(34)位于两个所述簧片(2)之间。
6.根据权利要求4所述的消振装置,其特征在于,所述第一锁紧件(32)与所述第二锁紧件(35)的延伸方向垂直。
7.根据权利要求2所述的消振装置,其特征在于,所述刚度调节机构(3)还包括:
压板(33),所述簧片(2)位于所述压板(33)与所述支撑块(31)之间,所述第一锁紧件(32)固定所述压板(33)与所述簧片(2)。
8.根据权利要求2所述的消振装置,其特征在于,所述簧片(2)为中心对称结构,所述支撑块(31)设置有多个,多个所述支撑块(31)绕所述簧片(2)的中心间隔设置,对应每个所述支撑块(31)设置有一个所述第一锁紧件(32)。
9.根据权利要求1-7任一项所述的消振装置,其特征在于,还包括配重块,所述配重块与所述质量块(4)可拆卸连接。
10.根据权利要求1-7任一项所述的消振装置,其特征在于,还包括:
传感器(51),与所述振动物体连接,用于检测所述振动物体的振动速度;
控制系统(52),根据所述传感器(51)的信号控制所述电机的输出端的行程。
11.根据权利要求1-7任一项所述的消振装置,其特征在于,所述振动物体的固有频率为f1,所述消振装置的固有频率为f2,f20.2*f1。
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