[发明专利]一种多功能柔性触觉传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种多功能柔性触觉传感器，其特征在于：包括结合在一起的弹性层和柔性传感层，弹性层的表面设有微凸起阵列且弹性层具有通孔阵列，柔性传感层包含柔性绝缘基底、力学传感单元阵列、温度传感单元阵列和平面电极阵列，所述力学传感单元阵列、温度传感单元阵列和平面电极阵列位于弹性层和柔性绝缘基底之间，所述平面电极阵列设于柔性绝缘基底上，且各温度传感单元、各力学传感单元各自通过一对平面电极与外电路导通，各力学传感单元的正上方分布有所述微凸起以使微凸起能够将压力和滑动信息传导至该力学传感单元，每个通孔正对一个温度传感单元并能够将温度信息传导至该温度传感单元。

2. 根据权利要求1所述的多功能柔性触觉传感器，其特征在于：每个微凸起的底面尺寸为微米级，相邻两个微凸起之间的间距大于0且小于等于1000 μm。

3.根据权利要求1或2所述的多功能柔性触觉传感器，其特征在于：所述弹性层的通孔内设有弹性导热垫片，且弹性导热垫片贴合于该通孔所正对的温度传感单元的表面。

4.根据权利要求3所述的多功能柔性触觉传感器，其特征在于：所述弹性导热垫片覆盖其所贴合的温度传感单元。

5.根据权利要求3所述的多功能柔性触觉传感器，其特征在于：所述弹性导热垫片的厚度大于等于所述通孔的厚度。

6.根据权利要求4所述的多功能柔性触觉传感器，其特征在于：所述弹性导热垫片的厚度大于等于所述通孔的厚度。

7.根据权利要求1、2、4、5或6所述的多功能柔性触觉传感器，其特征在于：还包括弹性指套，所述柔性传感层与弹性指套固定。

8.根据权利要求1、2、4、5或6所述的多功能柔性触觉传感器，其特征在于：所述弹性层为弹性树脂层。

9.根据权利要求7所述的多功能柔性触觉传感器，其特征在于：所述弹性层为弹性树脂层。

10.一种权利要求1或2的多功能柔性触觉传感器的制备方法，其特征在于，包括：

采用印刷电子工艺在柔性绝缘基底的表面制造平面电极阵列；采用印刷电子工艺在具有平面电极阵列的柔性绝缘基底的表面制造力学传感单元阵列和温度传感单元阵列，并使各温度传感单元、各力学传感单元各自与一对平面电极连接，得到柔性传感层；采用增材制造工艺制造具有微凸起阵列和通孔阵列的弹性树脂层；采用未固化的弹性树脂液体将弹性树脂层与柔性传感层进行贴合组装，该弹性树脂液体与所述弹性树脂层的材料相同，经过固化处理后得到多功能柔性触觉传感器，其中，各所述力学传感单元的正上方分布有所述微凸起，每个通孔正对一个温度传感单元且各温度传感单元上贴附的弹性导热垫片置于对应的通孔内。