[发明专利]一种坩埚翻转涂刷平台装置

说明书

本发明提供了一种坩埚翻转涂刷平台装置，铰接在底座框架上的一对翻转油缸驱动铰接在翻转座上的翻转支撑架的翻转动作；翻转支撑架通过回转支承与旋转支撑架连接，固定连接在翻转支撑架上的驱动机构驱动回转支承外圈的转动，进而驱动旋转支撑架的旋转动作；旋转支撑架上的承载平台上设置有四个可径向滑动的滑块，四个滑块的左端在承载平台的左侧固定连接有相配合的四个夹紧板，其右端与四个支撑滑板固定连接，支撑滑板上设置有一对拉紧滑轮；安装在旋转支撑架上的两个夹紧油缸通过钢丝绳同步带动四个滑块的径向移动；承载平台的左侧面设置有多个万向支撑轮。该装置能方便快捷的实现坩埚的立起和翻转作业，能大幅度的降低操作人员的劳动负荷。

技术领域

本发明属于坩埚涂刷技术领域，具体涉及一种坩埚翻转涂刷平台装置。

背景技术

石英坩埚是多晶硅定向凝固技术中必不可少的容器，随着需求的增加，目前硅片尺寸逐渐增大至166mm，甚至达到了210mm，大尺寸硅片的生产对阻隔金属杂质侵入的高纯涂层有了更高的要求。为了防止杂质向硅熔体中扩散，需要在坩埚内表面对应硅液线以下的区域涂刷一层高纯石英涂层，因为坩埚呈四方形，在进行侧壁内表面涂刷时需要先将坩埚立起，然后再根据需要依次翻转进行四侧壁内表面的刷涂，传统的方式多采用人工进行坩埚的立起和翻转作业，这种方式不仅作业效率低，而且劳动负荷较大，且容易在翻转和立起作业过程中使坩埚发生损坏。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本发明提供一种坩埚翻转涂刷平台装置，该装置能方便快捷的实现坩埚的立起和翻转作业，能大幅度的降低操作人员的劳动负荷，并能避免在翻转和立起过程中使坩埚发生损坏。

为了实现上述目的，本发明提供一种坩埚翻转涂刷平台装置，包括翻转机构和旋转机构，所述翻转机构包括底座框架、一对翻转油缸、一对翻转座和翻转支撑架；

所述一对翻转座前后间隔的固定连接在底座框架左端的上方；所述翻转支撑架的下部对应一对翻转座的部分具有一对延伸臂；一对延伸臂的下部通过销轴分别与一对翻转座的上端铰接；一对翻转油缸前后相间隔的设置在底座框架的上方，并与一对翻转座相对应的设置；一对翻转油缸的缸筒端分别与底座框架中部的前侧和后侧铰接，其活塞杆端分别与一对延伸臂的下端铰接；