[发明专利]一种用于碳碳埚的吊具及碳碳埚吊取方法

说明书

本发明公开了一种用于碳碳埚的吊具及碳碳埚吊取方法，涉及夹具技术领域。其包括钩吊部、第一支架和第二支架；所述第一支架具有第一支架第一端和第一支架第二端，所述第一支架第一端设有用于支撑碳碳埚内壁的第一支撑部，第一支撑部与所述第一支架呈预定夹角，所述第一支架第二端与所述钩吊部活动连接；所述第二支架具有第二支架第一端和第二支架第二端，所述第二支架第二端设有用于支撑碳碳埚内壁的第二支撑部，第二支撑部与所述第二支架呈预定夹角；所述第二支架第一端与所述第一支架活动连接。本发明提供的一种用于碳碳埚的吊具及碳碳埚吊取方法，能够解决单晶拆炉后，碳碳埚的快速吊取，以便于进行清扫维护，提高工作效率。

技术领域

本发明涉及夹具技术领域，尤其涉及一种用于碳碳埚的吊具及碳碳埚吊取方法。

背景技术

在单晶硅制备生产过程中，通过CZ(Czochralski，CZ法)直拉法拉制完单晶，需要对热场进行清扫维护，保证再次拉晶的成晶情况。单晶拆炉后，碳碳埚温度在500℃左右。目前常采用两种方法进行维护：第一种，等待碳碳埚自然冷却后将碳碳埚取出清扫维护；第二种，通过碳碳工装卡住碳碳埚的外径，吊出碳碳埚，然后清扫维护。第一种方法费时较长，自然冷却大约需要40分钟，不仅影响拆炉时间，而且影响单晶产量。而由于目前为了使整体热场发挥到最优，碳碳埚与加热器的缝隙越来越少，第二种方法采用的碳碳工装不再实用，无法进行卡住吊出碳碳埚。

因此亟需一种能够用于便捷的取出碳碳埚的新的碳碳工装。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本发明的主要目的在于提供一种用于碳碳埚的吊具及吊取方法，能够解决单晶拆炉后，碳碳埚的快速吊取，以便于进行清扫维护，提高工作效率。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种用于碳碳埚的吊具，包括钩吊部、第一支架和第二支架；所述第一支架具有第一支架第一端和第一支架第二端，所述第一支架第一端设有用于支撑碳碳埚内壁的第一支撑部，第一支撑部与所述第一支架呈预定夹角，所述第一支架第二端与所述钩吊部活动连接；所述第二支架具有第二支架第一端和第二支架第二端，所述第二支架第二端设有用于支撑碳碳埚内壁的第二支撑部，第二支撑部与所述第二支架呈预定夹角；所述第二支架第一端与所述第一支架活动连接。

可选地，所述第一支撑部和第二支撑部为杆状结构件。

可选地，所述第一支撑部和第二支撑部的数量均为两个。

可选地，所述第一支架包括“T”字形结构件和焊接于所述“T”字形结构件两端的支撑件，所述支撑件的一端弯曲以形成所述第一支撑部；所述第二支架包括“T”字形结构件和焊接于所述“T”字形结构件两端的支撑件，所述支撑件的一端弯曲以形成所述第二支撑部。

可选地，所述第一支撑部和第二支撑部为板状结构件。

可选地，所述第一支撑部和第二支撑部均具有一定弧度，以适配于碳碳埚的内壁。

可选地，所述活动连接为铰接。

可选地，所述第一支撑部与所述第一支架之间设有第一加强件；所述第二支撑部与所述第二支架之间设有第二加强件。

可选地，所述预定夹角为60-150°。

可选地，所述预定夹角为85°

可选地，所述钩吊部为吊环或吊钩，所述钩吊部、第一支架和第二支架采用的材质为不锈钢。

本发明还提供了一种碳碳埚的吊取方法，采用如前所述的吊具进行吊取；包括以下步骤：

将所述吊具放置于碳碳埚内；

通过挂钩钩住所述吊具的钩吊部；

提拉所述钩吊部，使得所述吊具的两端支撑于所述碳碳埚的内壁；