[发明专利]放电灯、光源单元、光源装置以及放电灯的点亮方法

说明书

本发明提供一种放电灯、光源单元、光源装置以及放电灯的点亮方法，其能够满足对放电灯的要求寿命即1500小时。由包括具有内部空间(24)的发光管部(20)和密封部(22)的发光管(12)、一对电极(14)、埋设于密封部(22)内的箔(16)、以及另一端从密封部(22)向外部延伸出的引线棒(18)构成放电灯(10)。并且，使一对电极(14)彼此之间的距离为1.1mm以上且1.7mm以下，使封入到内部空间(24)的水银(26)的量为0.03mg/mm³以上且0.14mg/mm³以下，在内部空间(24)封入碘，并使碘的封入浓度为6×10^‑5μmol/mm³以上且1.4×10^‑3μmol/mm³以下。

技术领域

本发明涉及例如在曝光装置等中用于紫外线照射的放电灯、光源单元、光源装置以及放电灯的点亮方法。

背景技术

以往，作为曝光装置的光源装置，使用大型的水银灯(使用水银作为发光物质的放电灯。以下简称为“放电灯”)。这是为了使大型的放电灯相对高效地放射k线(302nm)、j线(313nm)、i线(365nm)、h线(405nm)、和g线(436nm)的各种光。

但是，在大型的放电灯的情况下，由于一对电极间距离长至大致10mm至20mm，因此从与规定反射器的反射面的旋转抛物面或旋转椭圆面等的焦点偏离的位置放射出的光的比例变多，结果，聚光效率变差，并且光的传播变大，因此存在不适合高精细的曝光的问题。

此外，在1台曝光装置中使用的大型的放电灯的数量为1～4个灯，哪怕有1个灯发生故障就会导致曝光量不足，因此还存在必须停止包含该曝光装置的生产线，从而由1个灯的故障所致的损害非常大的问题。

鉴于这样的问题，最近开发了使用小型的放电灯的多灯式光源装置的曝光装置。

在使用多灯式光源装置的情况下，所使用的小型的放电灯中的一对电极间距离为1.1mm～1.7mm，因此能够消除使用大型的放电灯的情况下的聚光效率、光的传播的问题，由此实现更高精细的曝光。

另外，由于在1台曝光装置中使用的小型的放电灯的数量多达数十个，因此即使例如多个小型的放电灯发生故障，也能够确保必要的曝光量，因此能够避免包含曝光装置的生产线的停止。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-283898号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，小型的放电灯存在由于发光管的内部提前黑化因而具有寿命短的倾向的问题。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够满足对放电灯的要求寿命即1500小时的、电极间距离短的小型的低压放电灯、光源单元以及光源装置。

用于解决课题的技术方案

根据本发明的一个方面，提供一种放电灯，其具备：

发光管，其包括具有内部空间的发光管部以及从上述发光管部延伸出的密封部；

一对电极，以一端彼此对置的方式配设于所述内部空间；

箔，其与所述电极的另一端连接，并埋设于所述密封部内；以及

引线棒，其一端与所述箔连接，另一端从所述密封部向外部延伸出，

一对所述电极彼此之间的距离为1.1mm以上且1.7mm以下，

封入到所述内部空间的水银的量为0.03mg/mm³以上且0.14mg/mm³以下，