[发明专利]退火炉抽真空方法及退火炉

权利要求书

1.一种退火炉抽真空方法，其特征在于：包括：

S1，通过水循环系统对退火炉进行水浴加热至第一预设温度；

S2，通过抽真空装置对所述退火炉进行抽真空至预设真空度；

S3，通过加热装置对所述退火炉进行加热至第二预设温度；

S4，关闭水循环系统，排出所述退火炉中残留的水；

S5，继续对所述退火炉进行加热与抽真空；

其中，所述第一预设温度为35℃～45℃；所述第二预设温度为190℃～210℃；所述预设真空度为0.05～0.15Pa；

在步骤S1中，通过所述水循环系统的水加热装置对水箱中的水进行加热；

所述退火炉包括炉体、水循环系统、加热装置和抽真空装置，所述加热装置与所述抽真空装置与所述炉体连接，所述炉体包括内壳体与套设于所述内壳体外侧的外壳体，所述内壳体与所述外壳体之间形成加热腔，所述水循环系统与所述加热腔连通；

所述水循环系统包括水箱、水加热装置和水循环装置，所述水循环装置、所述水加热装置、所述水箱与所述加热腔通过管路连接形成循环回路。

2.根据权利要求1所述的退火炉抽真空方法，其特征在于：步骤S1前还包括：

S01，确认所述退火炉和所述水循环系统的管路是否畅通；

S02，检查所述退火炉和所述水循环系统是否有漏点。

3.根据权利要求2所述的退火炉抽真空方法，其特征在于：在步骤S02中，通过所述水循环系统的水循环装置使所述水循环系统的水箱中的水在所述水循环系统和所述退火炉之间循环流动，观察是否有漏点。

4.一种应用如权利要求1至3任意一项所述的退火炉抽真空方法进行抽真空的退火炉，其特征在于：所述水循环系统还包括温度传感器，所述温度传感器设置于所述加热腔的出水口与所述水循环装置连通的所述管路上。

5.根据权利要求4所述的退火炉，其特征在于：所述加热腔的进水口与出水口与所述管路的连接处均设有阀体。