[发明专利]一种多磁场集成阴极弧源

权利要求书

1.一种多磁场集成阴极弧源，其特征在于：包括阴极组件、阳极组件，所述阳极组件套设在阴极组件外且之间绝缘设置；

所述阳极组件中设有第一磁极；

所述阴极组件一端固定有靶材，所述阴极组件内设有第一空腔，所述第一空腔内设有第二磁极安装座，所述第二磁极安装座在第一空腔内可沿靶材轴向方向位移，所述第二磁极安装座上设有第二磁极；

所述阴极组件远离靶材的一端设有电磁线圈；

所述阴极组件包括阴极座，所述阴极座一端固定有靶材，所述阴极座远离靶材的一端连接有安装件，所述第二磁极安装座设置在阴极座与安装件之间，所述第二磁极安装座上设有连接杆，所述连接杆穿过安装件且连接有用于驱动第二磁极安装座沿轴向方向直线运动或周向旋转的驱动装置；在驱动装置上设置周期性驱动编程，使第二磁极位置呈周期性变化；

所述阳极组件包括阳极筒以及固定在阳极筒端部的阳极环，所述阳极环与靶材同心设置且位于靶材远离阴极组件的一侧；

所述阳极筒上设有环形槽以及在环形槽底部设有若干第一磁极安装孔，所述第一磁极位于第一磁极安装孔内，所述环形槽内设有环形件，所述环形件与阳极筒通过紧固件连接固定；

所述电磁线圈施加的电流为脉冲低频的方波、正、余弦波及其他波形的电流；

所述安装件与阴极座可拆卸连接，所述电磁线圈固定在安装件外周。

2.根据权利要求1所述的多磁场集成阴极弧源，其特征在于：所述阴极组件包括阴极座，所述阴极座一端固定有靶材，所述阴极座远离靶材的一端连接有阴极盖，所述阴极座与阴极盖之间形成第二空腔，所述阴极盖上设有连通第二空腔的用于进出水的通孔。

3.根据权利要求2所述的多磁场集成阴极弧源，其特征在于：所述阴极座与阴极盖之间设有隔水条，所述隔水条在第二空腔使第二空腔形成曲折的水道。

4.根据权利要求1所述的多磁场集成阴极弧源，其特征在于：所述阳极筒为在法兰上焊接内板和外板形成的，所述内板和外板之间焊接有盘管，所述法兰上设有连接盘管的连接水道以及连接水道的冷却水进出水管。

5.根据权利要求1所述的多磁场集成阴极弧源，其特征在于：所述阳极组件上连接有屏蔽组件，所述屏蔽组件包括固定套和屏蔽罩，所述固定套与阳极组件连接且连接之处绝缘设置，所述屏蔽罩上设有卡槽，所述固定套上设有突出销，固定套和屏蔽罩通过突出销和卡槽配合相连接。

6.根据权利要求5所述的多磁场集成阴极弧源，其特征在于：所述屏蔽罩为锥形结构，其锥度角为30-45°。