[发明专利]光学系统、光学部件和用于制作光学系统的方法

权利要求书

1.光学系统(400、400'、400”)，包括：

第一光学部件(100、100'、100”)，其具有第一波导体(101)和凹部(106)，所述凹部(106)从前侧(104)到与所述前侧(104)对置的后侧(105)至少部分地穿过所述第一光学部件(100、100'、100”)，

第二光学部件(200、200'、200”)，其布置在所述第一光学部件(100、100'、100”)的所述凹部(106)内，并且具有能够与所述第一波导体(101)光学耦合的第二波导体(201)，和

载体基板(300、300”)，其中所述第一光学部件(100、100'、100”)和所述第二光学部件(200、200'、200”)分别布置在所述载体基板(300、300”)上，

其特征在于，

所述第一光学部件(100、100'、100”)具有带有相对于所述第一波导体(101)的限定的位置和/或取向的第一标记组(110、110')，所述第二光学部件(200、200'、200”)具有带有相对于所述第二波导体(201)的限定的位置和/或取向的第二标记组(210、210')，并且根据所述第一和第二标记组(110、110'；210、210')的相对位置和/或取向能够确定所述第一和第二光学部件(100、100'、100”；200、200'、200”)是否在平行于所述载体基板(300、300”)的表面的参考平面内相互对准至使得所述第一和第二波导体(101、201)的光学耦合能够实现。

2.根据权利要求1所述的光学系统(400、400'、400”)，其中所述第一波导体(101)与所述第一光学部件(100、100'、100”)的前侧(104)具有第一距离，所述第二波导波体(201)与所述第二光学部件(200、200'、200”)的前侧(204)具有第二距离，所述第一和第二光学部件(100、100'、100”；200、200'、200”)的前侧(104、204)朝向所述载体基板(300、300”)，并且将所述第一和第二距离选择为使得由此调节所述第一和第二光学部件(100、100'、100”；200、200'、200”)沿与所述参考平面垂直的法向方向的相互相对位置和/或取向，使得实现所述第一和第二波导体(101、201)的所述光学耦合。

3.根据权利要求2所述的光学系统(400、400'、400”)，其中通过布置在所述第一和/或第二光学部件(100、100'、100”；200、200'、200”)的前侧(104、204)上的若干层调节所述第一和/或第二距离。

4.根据前述权利要求中任一项所述的光学系统(400、400'、400”)，其中所述标记组(110、110'；210、210')中的至少一个的至少一部分通过所述波导体(101、201)中的一个的部分实现或包含所述部分，和/或其中所述标记组(110、110'；210、210')中的至少一个的至少一部分是所述光学部件(100、100'、100”；200、200'、200”)中的一个的边缘或包含所述边缘，和/或所述标记组(110、110'；210、210')中的至少一个的至少一部分通过光刻方法施加到所述光学部件(100、100'、100”；200、200'、200”)中的一个上或嵌入到所述光学部件内。

5.根据前述权利要求中任一项所述的光学系统(400、400'、400”)，其中在共同的工作步骤中和/或以共同的掩模通过光刻方法制造所述标记组(110、110'；210、210')中的至少一个的至少一部分和所述波导体(101、201)中的至少一个的至少一部分。

6.根据前述权利要求中任一项所述的光学系统(400、400'、400”)，其中将所述第一光学部件(100、100'、100”)的至少一部分变薄，使得所述第一标记组(110、110')的至少一部分能够从所述第一光学部件(100、100'、100”)的所述后侧(105)被检测到。