[发明专利]一种半自动加药系统及加药方法

说明书

本发明提出了一种半自动加药系统及加药方法，系统包括输入管、气动隔膜泵、输出总管、分支输出管和泄压管，输出总管包括依次连接的首端连接管、中间连接管和尾端连接管；首端连接管和一中间连接管之间通过第一三通管连接；中间连接管之间、中间连接管和尾端连接管之间分别通过第二三通管、第三三通管连接；尾端连接管连通一二通管；首端连接管连通气动隔膜泵的；每个第二三通管、第三三通管、二通管的另一接口处分别连接一分支输出管。本发明中，液体药剂经气动隔膜泵泵入各分支输出管，操作人员只需在各个分支输出管处的储液器处，取走储液器并将其内的液体药剂添加至对应的待加药设备内即完成半自动化加药工序，提高了加药的自动化程度。

技术领域

本发明属于加药装置技术领域，尤其涉及一种半自动加药系统及加药方法。

背景技术

目前，单晶硅片的清洗工作中，通常由人工将清洗药剂添加至洗药机设备内。因此，自动化程度低。随着单晶硅片的产能快速发展，人工添加清洗药剂的工序中需要投入更多的人力，上述两种因素不可避免地导致劳动成本较高的现象。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半自动加药系统及加药方法，该装置可实现半自动化加药，提高了自动化程度，降低了劳动成本。为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种半自动加药系统，包括一用于储存液体药剂的储液槽，还包括：

一输入管，所述输入管的输入端连通第一软管，所述第一软管连通所述储液槽；所述输入管上设置第一阀门；

一气动隔膜泵，用于提供输送所述液体药剂的动力，所述气动隔膜泵的输入端连通所述输入管的输出端；

一输出总管，所述输出总管包括依次连接的首端连接管、若干中间连接管和尾端连接管；

所述首端连接管和一所述中间连接管之间通过第一三通管连接；相邻所述中间连接管之间通过第二三通管连接；一所述中间连接管和尾端连接管之间通过第三三通管连接；所述尾端连接管的输出端连通一二通管；

所述首端连接管上设置第二阀门；所述首端连接管的输入端连通所述气动隔膜泵的输出端；

每个第二三通管、第三三通管、二通管的另一接口处分别连接一分支输出管；所述分支输出管上均设置一第三阀门；

一泄压管，所述泄压管与所述第一三通管的一接口连接；所述泄压管上设置一第四阀门。

优选地，所述泄压管的输出端连接一第二软管；所述第二软管伸入所述储液槽内。

优选地，所述第二三通管、第三三通管、二通管分别固定在与其对应的待加药设备的正上方；所述分支输出管固定与与其对应的所述待加药设备的外壁。

优选地，所述分支输出管的输出端位于一储液器的正上方。

优选地，与第一三通管连接的中间连接管包括第一段和第二段；所述第一段和第二段之间通过一二通管连接。

优选地，所述输出总管高于所述分支输出管。

本发明还提出了一种半自动加药的方法，基于所述的半自动加药系统，包括以下步骤：

（1）保持所述第一阀门、第二阀门和第四阀门处于常开状态，关闭所述第三阀门，之后启动所述气动隔膜泵，所述液体药剂由所述储液槽进入所述输入管内，之后一部分所述液体药剂依次经过所述首端连接管、中间连接管和尾端连接管后，分别由所述首端连接管、中间连接管和尾端连接管进入对应的所述分支输出管；另一部分所述液体药剂进入所述泄压管后回流至所述储液槽内；

（2）当所述气动隔膜泵运行至设定时间后，打开所述第三阀门，所述液体药剂分别由所述分支输出管流入对应的所述储液器内；