[发明专利]一种新型的紫外激光微加工平台

权利要求书

1.一种新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，该新型的紫外激光微加工平台，包括加工台(1)，伸缩杆(2)，工作台(3)，紫外激光器(4)，扩束镜(5)，分光片(6)，振镜X(7)，振镜Y(8)，聚焦透镜(9)，同轴CCD显微监视系统(10)，支撑柱(11)，可调节防护架结构(12)，可调节支架结构(13)和工具储存架结构(14)，所述的伸缩杆(2)螺栓安装在加工台(1)的上部左侧；所述的工作台(3)螺栓安装在伸缩杆(2)的上端；所述的紫外激光器(4)、扩束镜(5)、分光片(6)和振镜X(7)由左至右依次螺钉安装在工作台(3)的上部；所述的振镜Y(8)嵌入在工作台(3)的右侧；所述的聚焦透镜(9)螺纹连接在振镜Y(8)的下部；所述的同轴CCD显微监视系统(10)螺钉安装在工作台(3)的中下部；所述的支撑柱(11)分别插接在加工台(1)的上部右侧；所述的可调节防护架结构(12)安装在工作台(3)前后两部的下侧位置；所述的可调节支架结构(13)安装在加工台(1)的下部四角处；所述的工具储存架结构(14)安装在加工台(1)的中下部；所述的可调节防护架结构(12)包括收集框(121)，缠绕杆(122)，旋转把(123)，防护网(124)和矩形磁石块(125)，所述的收集框(121)螺钉安装在工作台(3)的前后两侧；所述的缠绕杆(122)轴接在收集框(121)的内侧；所述的旋转把(123)螺钉安装在缠绕杆(122)的左右两端；所述的矩形磁石块(125)胶接在防护网(124)的下部左右两侧。

2.如权利要求1所述的新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，所述的可调节支架结构(13)包括固定管(131)，固定螺母(132)，螺纹杆(133)，横向管(134)和底部支脚(135)，所述的固定管(131)嵌入在加工台(1)的四角处；所述的固定螺母(132)焊接在固定管(131)的下部；所述的底部支脚(135)胶接在螺纹杆(133)的下部。

3.如权利要求1所述的新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，所述的工具储存架结构(14)包括矩形框(141)，工具储存斗(142)，纵向杆(143)，滚珠轴承(144)和旋转挡板(145)，所述的纵向杆(143)螺钉安装在矩形框(141)的左右俩和侧；所述的滚珠轴承(144)套接在纵向杆(143)的外侧下部。

4.如权利要求1所述的新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，所述的防护网(124)贯穿收集框(121)的下侧缠绕在缠绕杆(122)的外侧。

5.如权利要求2所述的新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，所述的螺纹杆(133)螺纹连接在固定螺母(132)的内侧。

6.如权利要求3所述的新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，所述的工具储存斗(142)设置在矩形框(141)的内侧。

7.如权利要求2所述的新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，所述的横向管(134)焊接在螺纹杆(133)的前侧下部。

8.如权利要求3所述的新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，所述的矩形框(141)嵌入在加工台(1)的中下部。

9.如权利要求1所述的新型的紫外激光微加工平台，其特征在于，所述的旋转挡板(145)焊接在滚珠轴承(144)的外侧。