[发明专利]用于电荷耦合元件检测机的检测水准检验装置及检验方法在审
申请号: | 202010691204.X | 申请日: | 2020-07-17 |
公开(公告)号: | CN113945515A | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 李志雄 | 申请(专利权)人: | 捷将科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 刘金凤;赵燕力 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 电荷 耦合 元件 检测 水准 检验 装置 方法 | ||
本发明是关于用于电荷耦合元件检测机的检测水准检验装置及检验方法,其中用于电荷耦合元件检测机的检测水准检验装置包含一架设组件、一驱动装置及一转盘;驱动装置通过架设组件固设于电荷耦合元件检测机上,且包含一转动轴;转盘设于转动轴上,并且位于电荷耦合元件与光源之间;转盘为不透光材质且包含一针孔。借此,当驱动装置的转动轴带动转盘转动时,针孔能通过转盘转动而移动至电荷耦合元件与光源的连线上,于是电荷耦合元件能通过针孔感应到光线。针孔的数量乘以转盘转动的圈数,即为通过的针孔总量,借此本发明能提供精确的针孔数量作为判断的标准,故能精确的检验电荷耦合元件检测机的检测水准。
技术领域
本发明涉及一种用于电荷耦合元件检测机的检测水准检验装置。
背景技术
铜箔(或者其他基础材料如金属薄膜、塑料薄膜、纺织布等)在使用前必须先检测是否有针孔,以确保后续产品的良率,而现有技术是以电荷耦合元件(Charge-coupledDevice,CCD)检测机来进行铜箔的针孔检测。
请参考图8及图9,电荷耦合元件检测机包含多个电荷耦合元件91、一光源92及多个滚筒93。多个电荷耦合元件91沿直线排列,并且电荷耦合元件91能感测光线,并将影像转变成数位信号。光源92为一灯管,其沿着所述电荷耦合元件91的排列方向延伸,且正对于所述电荷耦合元件91,并朝向所述电荷耦合元件91发出光线。
检测时,铜箔沿着所述滚筒93通过电荷耦合元件检测机,并且在过程中通过所述电荷耦合元件91与光源92之间。借此,若是经过电荷耦合元件91与光源92之间的铜箔没有针孔的情况下,光源92所发出的光线将完全被铜箔所遮蔽,故电荷耦合元件91将无法感测到光线;反之,若是铜箔具有针孔,则光源92所发出的光线会穿透该针孔并且投射至电荷耦合元件91,故电荷耦合元件91能感测到光线并记录针孔的位置,以作为后续铜箔使用时的参考。
其中,电荷耦合元件91在长时间使用后,其检测的准确率(是否漏检)以及精度(能检测到多小的针孔)可能因为环境因素及机台震动等原因而降低,导致无法检测出原本正常情况下应该检出的针孔。因此,需要针对电荷耦合元件检测机的准确率以及精度进行定期的检验,并进行后续的维护调整。现有的检验方式大致有以下两种:
第一,先以人工方式对铜箔戳孔,并记录其针孔位置;接下来将戳孔后的铜箔以电荷耦合元件检测机进行针孔检测,并且对比先前戳孔的位置是否皆有完整被检测出。然而,由于人工戳孔不容易控制孔径的大小,且以人工方式戳出的针孔的极小值有一定的极限(通常对于需要检测的精度来说都太大),因此这种方式仅能针对一定孔径以上的针孔进行准确率的检验,而无法检验精度。
第二,将以电荷耦合元件检测机检测后的铜箔取下并涂上煤油,利用煤油的渗透来对比电荷耦合元件检测机所检测出的针孔位置是否一致,并切割针孔处至显微镜下量测其孔径。但由于铜箔上自然形成的针孔是不规则形状,故不论针孔的孔径大小,在某些形状下煤油无法确实的渗透,导致此方式无法作为值得信赖的标准。
综上所述,因传统的验证方式各自具有其缺点,而皆无法准确地判断电荷耦合元件检测机的检出水平正常与否;换言之,上述两种传统的验证方式因为无法精确的确定针孔的数量以及其孔径大小的正确值,因此皆无法作为绝对标准来对比电荷耦合元件检测机。因此,势必需要设计一检验装置来检验电荷耦合元件91的检测的准确率以及精度,进而才能准确地针对电荷耦合元件91进行维护调整。
发明内容
有鉴于前述的现有技术的缺点及不足,本发明提供一种用于电荷耦合元件检测机的检测水准检验装置及电荷耦合元件检测机的检测水准检验方法,用于电荷耦合元件检测机的检测水准检验装置能设于电荷耦合元件检测机上,并且能提供精确的针孔数量与孔径数值,借此能作为绝对标准来针对各个电荷耦合元件进行检验。
为达到上述的发明目的,本发明所采用的技术手段为设计一种用于电荷耦合元件检测机的检测水准检验装置,其能设于一电荷耦合元件检测机上,该电荷耦合元件检测机包含多个电荷耦合元件及一光源;该用于电荷耦合元件检测机的检测水准检验装置包含:
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