[发明专利]一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置

权利要求书

1.一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置，其特征在于：包括三段同心安装的波纹管：波纹管一，波纹管二，波纹管三，以及法兰一，限位杆，法兰二，法兰三，伸缩拉杆，法兰四，驱动杆，所述三段同心安装的波纹管最外层为波纹管一，中间层为波纹管二，最内层为波纹管三；

波纹管一的右侧端面与波纹管二的右侧端面通过法兰二连接，波纹管二的左侧端面与波纹管三的左侧端面通过法兰三连接；波纹管一的左端通过法兰一与真空室安装，波纹管三的右端通过法兰四与驱动杆连接；法兰一与法兰二通过限位杆连接，法兰三与法兰四通过伸缩拉杆连接；波纹管二与波纹管三的具有相同的伸长压缩量，波纹管一长度比波纹管二和波纹管三长；法兰四的外径大于法兰二的内径；法兰三的外径大于法兰一的内径；

当驱动杆向真空室内方向移动时，法兰四随驱动杆向真空室内移动，伸缩拉杆拉到最长，同时波纹管三也达到最大拉伸长度，并拖动法兰三移动，压缩波纹管二，法兰二在限位杆的限制下，保持波纹管一的长度不变；

当波纹管二被压缩到最小长度时，此时驱动杆的位移为波纹管二的压缩长度，当驱动杆向真空室外方向移动时，法兰四随驱动杆向真空室外移动，伸缩拉杆开始收缩，法兰四接触并压缩法兰二，波纹管一被压缩，波纹管三和波纹管二保持原始长度直至法兰三接触法兰一，由于法兰三的外径大于法兰一的内径，法兰一在径向上限制了法兰三的移动,波纹管三和波纹管二开始压缩。

2.根据权利要求1所述的一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置，其特征在于：

所述限位杆左端为光杆，固定安装在法兰一上，右端加工外螺纹，穿过法兰二上的孔，在外侧安装螺母用于限制法兰一和法兰二之间的距离，从而限制波纹管一的伸长。

3.根据权利要求1所述的一种双向直线补偿多层金属波纹管真空密封装置，其特征在于：

在驱动杆的双向移动中，三段波纹管均处于最大拉伸长度范围内，通过法兰、波纹管、限位杆、伸缩拉杆相互位置作用，获得比单一金属波纹管更多的补偿量，避免金属波纹管拉伸导致塑性变形。