[发明专利]镜组调节机构、可调式光学系统及光刻设备

权利要求书

1.一种镜组调节机构，其特征在于，包括：

镜筒；

镜组固定单元，设置于所述镜筒内，用于固定可动镜组；

定心单元，环绕设置于所述镜筒与所述镜组固定单元之间以对所述镜组固定单元进行定心，并使所述镜组固定单元的中心线与所述镜筒的中心线重合；所述定心单元包括沿周向交替设置的形变区及固定区，所述形变区与所述镜组固定单元连接，所述固定区与所述镜筒连接，所述固定区在轴向及径向上的刚度均大于所述形变区在轴向及径向的刚度，并且所述形变区在轴向上的刚度小于在径向上的刚度。

2.如权利要求1所述的镜组调节机构，其特征在于，所述定心单元包括圆环形簧片，所述固定区与所述形变区在径向上的环宽相等，所述形变区在轴向上的厚度小于所述固定区在轴向上的厚度。

3.如权利要求1或2所述的镜组调节机构，其特征在于，所述定心单元由弹性模量大于100000N/mm²的材料制成。

4.如权利要求1所述的镜组调节机构，其特征在于，还包括：

若干位移调节单元，沿所述镜筒周向设置，包括转动端、第一可动端和第二可动端，所述转动端转动设置于所述镜筒上，所述第一可动端和所述第二可动端分别与一驱动设备及所述镜组固定单元连接，所述第一可动端及所述第二可动端可绕所述转动端转动以将所述驱动设备提供的径向驱动力转换为所述镜组固定单元的轴向位移，并通过形变和/或摩擦的方式吸收所述第一可动端的轴向位移以及所述第二可动端的径向位移。

5.如权利要求4所述的镜组调节机构，其特征在于，所述位移调节单元至少具有三个，至少三个所述位移调节单元沿镜筒周向均匀设置，每个所述位移调节单元连接的驱动设备提供的径向驱动力相同时，所述镜组固定单元沿轴向平移；至少两个所述位移调节单元连接的驱动设备提供的径向驱动力不相同时，所述镜组固定单元沿轴向倾斜。

6.如权利要求4所述的镜组调节机构，其特征在于，所述第一可动端通过第一柔性铰链与所述驱动设备连接，所述第一柔性铰链在轴向和径向上分别与所述驱动设备柔性连接和刚性连接；所述第二可动端通过第二柔性铰链与所述镜组固定单元连接，所述第二柔性铰链在轴向和径向上分别与所述镜组固定单元刚性连接和柔性连接；当所述驱动设备输出径向驱动力时，所述第一柔性铰链沿轴向形变，所述第二柔性铰链沿径向形变。

7.如权利要求6所述的镜组调节机构，其特征在于，所述第一柔性铰链、所述第二柔性铰链及所述位移调节单元为一体结构。

8.如权利要求4所述的镜组调节机构，其特征在于，所述第二可动端通过驱动球头与所述镜组固定单元接触，当所述驱动设备输出径向驱动力时，所述驱动设备的输出端相对所述第一可动端沿轴向滑动，所述驱动球头沿径向滑动和/或滚动。

9.如权利要求8所述的镜组调节机构，其特征在于，所述第一可动端通过第一驱动销与所述驱动设备接触，所述第一驱动销设置于所述位移调节单元内且至少部分表面露在所述位移调节单元外，所述驱动设备的输出端在所述第一驱动销露在所述位移调节单元外的表面上滑动；和/或，

所述第二可动端通过第二驱动销与所述镜组固定单元接触，所述第二驱动销设置于所述镜组固定单元内且至少部分表面露在所述镜组固定单元外，所述驱动球头在所述第二驱动销露在所述镜组固定单元外的表面上滑动和/或滚动。

10.如权利要求4-9中任一项所述的镜组调节机构，其特征在于，所述转动端通过柔性轴承与所述镜筒刚性连接。

11.如权利要求4-9中任一项所述的镜组调节机构，其特征在于，所述位移调节单元为杠杆结构，所述杠杆结构的两端分别为所述第一可动端和所述第二可动端，所述杠杆结构的两端之间的至少部分区域作为所述转动端。

12.如权利要求11所述的镜组调节机构，其特征在于，所述杠杆结构沿轴向的截面为直角三角形。