[发明专利]一种高效镀超硬膜的方法

说明书

本发明提供了一种高效镀超硬膜的方法。采用连续式磁控溅射镀膜装置，设备主要包括进料仓、过渡仓、镀膜仓和出料仓，仓与仓之间通过轨道相连，进行载台的传送，实现一站式镀膜；具体工艺路线为：将玻璃基体在超声波中清洗后烘干，按顺序排布在载台上；抽真空并加热；载台在机械传动的作用下，依次通过进料仓、过渡仓，进入镀膜仓；根据所镀膜层材质与厚度要求，调节电流、电压值与镀膜时间，开始镀膜；镀膜完成后，传动系统将载台经过渡仓送进出料仓，完成镀膜过程。本发明可以根据膜层的材质要求，灵活更换靶材，实现多层、不同材质的一站式镀膜；可以根据所需镀膜的层数，增加或减少腔体数量，操作更简便；可以减少中间环节与等待时间，提高生产效率，降低成本。

技术领域

本发明涉及一种镀膜方法，具体涉及一种膜层质量好、生产效率高、制作成本低的连续性超硬度镀膜方法。

背景技术

目前，由于智能设备，如智能手机、智能手表、平板的需求量不断增加，玻璃作为智能设备屏幕和后盖的主要原材料，其需求量不断上升。随着科技进步，人们追求性能更加完美的玻璃屏幕和后盖，随之对玻璃的要求也变的更为严格。目前，对于原材料平板玻璃的性能要求主要是抗划伤、抗指纹和增透性，主流处理办法就是镀上相关成分的膜，包括镀DLC膜、抗指纹膜和抗反射膜，提高玻璃的性能，满足人们的使用要求。

镀膜是提高玻璃性能的一种高效改善玻璃性能的办法，主要镀膜方法有磁控溅射、化学气相沉积和物理气相沉积等方法。磁控溅射相对于其他镀膜方法，其优点主要优点是成膜速率高，基片温度低，膜的粘附性好，可实现大面积镀膜，故目前大多数采用磁控溅射法实现镀膜过程。

用普通镀膜机要实现玻璃表面多层镀膜需要多次转换设备，在玻璃转换设备时，一方面会对玻璃表面造成污染，影响镀膜的质量；另一方面转运会延长作业时间，增加成本。即使只镀一层膜，前期准备、抽真空等过程也需要耗费较长的时间。

发明内容

本发明的目的在于通过采用连续式磁控溅射镀膜装置，提供一种膜层质量好、生产效率高、制作成本低的连续性的高效镀超硬膜的方法。

本发明的目的是这样实现的：本发明采用连续式磁控溅射镀膜装置，设备主要包括进料仓、过渡仓、镀膜仓和出料仓，仓与仓之间通过轨道相连，进行载台的传送，实现一站式镀膜；具体工艺路线为：将玻璃基体在超声波中清洗后烘干，按顺序排布在载台上；抽真空并加热；载台在机械传动的作用下，依次通过进料仓、过渡仓，进入镀膜仓；根据所镀膜层材质与厚度要求，调节电流、电压值与镀膜时间，开始镀膜；镀膜完成后，传动系统将载台经过渡仓送进出料仓，完成镀膜过程。

具体工艺路线如下：

（1）将玻璃基体进行超声波清洗后烘干，将其顺序的排布在载台上。

（2）抽真空并加热，过渡仓与镀膜仓需要加热至60~100℃；过渡仓腔体内真空度达到10^-2Pa以上，镀膜仓腔体内真空镀达到10^-3Pa以上，过渡层厚度：0.1-0.3 um，DLC膜层厚度：0.2-0.5 um；

（3）开启传动装置，载台在机械传动的作用下，依次通过进料仓、过渡仓，进入镀膜仓；

（4）根据所镀膜层材质与厚度要求，调节电流、电压值与镀膜时间，开始镀膜；电压：0V-2300 V；电流：≤0.5 A；镀膜时间：0.5-2 h。镀膜参数操作范围：真空为0.5-8×10^-4 Pa，气体流量为20-200 sccm；

（5）镀膜完成后，传动系统将载台经过渡仓，送进出料仓，完成镀膜过程。

本发明还有这样一些特征：

1、所述的镀膜仓内工艺，采用磁控溅射方法实现镀膜。

2、所述的镀膜仓前可以增加一个等离子前处理过程，以进一步保证玻璃基体表面洁净，增加膜层与基体间的结合力。