[发明专利]玻璃板的清洗装置及玻璃板的制造方法

说明书

本发明提供一种玻璃板的清洗装置以及玻璃板的制造方法。玻璃板的清洗装置(1)一边沿规定的搬运方向(X)搬运玻璃板(G)一边对该玻璃板(G)进行清洗，并具备向玻璃板(G)的上表面(Ga)吹送蒸气(S)的蒸气喷嘴(19)，以用于对玻璃板(G)进行清洗。

技术领域

本发明涉及玻璃板的清洗技术。

背景技术

近年来，液晶显示器、等离子体显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)不断推进高精细化。伴随于此，在用作FPD用的基板的玻璃板上，通过FPD的制造工序来形成致密的电路。因此，对于这种玻璃板，要求不带有灰尘、污垢的高清洁性。

因此，在玻璃板的制造工序中，通常从玻璃原板切出规定尺寸的玻璃板，在对该切出的玻璃板的切断端面进行端面加工之后，设置对玻璃板进行清洗的清洗工序(例如参照专利文献1)。

作为清洗玻璃板的方法，可列举通过清洗盘、清洗刷(辊刷)等清洗工具对沿规定方向搬运的玻璃板进行清洗的方法(例如参照专利文献2)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-100260号公报

专利文献2：日本特开2017-14060号公报

然而，玻璃原板以捆包的方式被保管，具体地说，以隔着保护片(发泡树脂片、玻璃衬纸)层叠在托盘上的状态被保管。此时，保护片的成分转印至玻璃原板、或者层叠时进入保护片与玻璃原板之间的环境气体中的悬浮物附着于玻璃原板，其结果是，在玻璃原板上产生捆包污垢。在使清洗盘、清洗刷等清洗工具接触于玻璃板的表面以进行清洗的情况下，虽能够去除捆包污垢等粗大的污垢，但在微小异物等微小的污垢的去除上存在不足。

发明内容

发明要解决的课题

本发明的课题在于，实现玻璃板的清洗工序中的清洗力的进一步提高。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题而提出的本发明是一边沿规定的搬运方向搬运玻璃板一边对该玻璃板进行清洗的玻璃板的清洗装置，其特征在于，玻璃板的清洗装置具备向玻璃板的第一主面以及第二主面中的至少一方吹送蒸气的蒸气喷嘴，以用于对玻璃板进行清洗。

这样的话，通过与玻璃板接触的蒸气的作用来减弱污垢附着于玻璃板的附着力，从而不仅能够实现捆包污垢等粗大的污垢的改善，还能够实现微小异物等微小的污垢的减少。

在上述的结构中，优选的是，玻璃板的清洗装置具备：蒸气槽，其在内部配置有蒸气喷嘴；清洗槽，其在内部收容蒸气槽；以及排气口，其用于将蒸气槽的内部的环境气体向清洗槽的外部排出。

这样的话，由于能够将充满于蒸气槽内的蒸气从排气口向清洗槽的外部排出，因此蒸气不容易从蒸气槽向清洗槽流出。其结果是，能够保护清洗槽免受高温的蒸气的影响，能够减少清洗槽的温度上升的情况。换言之，如果使蒸气槽由金属等耐热性构件构成，则对于清洗槽的材质也可以使用耐热性低的树脂等。另外，即使在具备由耐热性低的树脂等构成的清洗槽的现有的清洗装置中，若设置蒸气槽，则能够从蒸气喷嘴吹送高温的蒸气。或者，即使在清洗槽由金属构成的情况下，也不需要清洗槽的热对策。因此，能够抑制设备成本而应用本发明。

在上述的结构中，优选的是，排气口分别配置于玻璃板的第一主面侧以及第二主面侧。

这样的话，无论有无玻璃板，均容易将蒸气从排气口向清洗槽的外部排出。因此，能够可靠地抑制在蒸气槽内蒸气过度充满，从而蒸气从蒸气槽向清洗槽流出的情况。

在上述的结构中，优选的是，玻璃板的第一主面为上表面，玻璃板的第二主面为下表面，蒸气喷嘴从玻璃板的上方向玻璃板的第一主面吹送蒸气。