[发明专利]用于晶圆切割胶带微观表征性能的测试方法

权利要求书

1.用于晶圆切割胶带微观表征性能的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1,将所有需要测试的样品放置于23℃±2℃，50％±5％RH的环境中放置24小时；该测试操作需要在无UV能量的光源下进行，防止UV胶被固化；

步骤2，裁切好一张UV胶带，把晶圆贴合在UV胶带上，施加3.25MPa的力，用计时器保持10s，压好后的样品盖上离型膜静置30min；该测试操作需要在无UV能量的光源下进行，防止UV胶被固化；

步骤3，将静置好的样品套环放入扩模机进行扩模；该测试操作需要在无UV能量的光源下进行，防止UV胶被固化；

步骤4，将扩模好的样品放入UV能量固化机进行固化，固化时条件是70mW/cm²，波长365nm，照射60s，充氮气保护，氧气浓度为0.2％；

步骤5，将固化后的样品放置于拉拔试验机和拉力试验机上设定下压力值、下压速度、保温时间，分别进行测试拉拔力和180°剥离力，其测试速度均为50mm/min。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆切割胶带微观表征性能的测试方法，其特征在于，在对不同样品进行测试时，步骤5中的下压力值、下压速度、静置时间均保持相同。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆切割胶带微观表征性能的测试方法，其特征在于，利用拉拔试验机测试UV减粘胶在贴合后不同静置时间的拉拔力，下压力值、下压速度保持一致。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆切割胶带微观表征性能的测试方法，其特征在于，利用拉拔试验机测试UV减粘胶在贴合后不同拾取压力下的拉拔力，静置时间、下压速度保持一致。