[发明专利]砷化镓抛光液自动循环过滤方法及其对应的过滤装置

权利要求书

1.砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其特征在于：抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加。

2.如权利要求1所述的砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其特征在于：抛光机的供药接口处断开，安装抛光药液自循环过滤装置，将过滤循环系统的进液管连接在外部的进药管处，将出液管口连接在设备进液的管口上，在进液管安装相应的过滤滤芯，在循环滤罐安装更细一级的过滤滤芯，开启管道药液液位计监测药液桶内的液面高度，并将传感器与隔膜泵进行连接控制，通过隔膜泵将循环桶中药液抽出并在滤芯出过滤输入循环药液溢流桶中，通过溢流的方式保持药液的循环流动，需要进行抛光液供给时、开启出液管上的蠕动泵将干净的药液进行供给给抛光机的进药管。

3.砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：其包括药液桶，所述药液桶的上端盖装有顶盖，所述顶盖上预设有管路插孔、溢流桶安装接口，所述溢流桶安装接口下凸部分固装有循环药液溢流桶，所述循环药液溢流桶上设置有旁通溢流孔连通所述药液桶的内腔，所述药液桶的内腔内盛放有砷化镓抛光液，进液管上安装药管过滤罐芯后通过管路贯穿对应的管路插孔后连通至所述药液桶的内腔，其还包括有循环管，所述循环管的一端内插于药液桶的内腔的底部区域，所述循环管的一部分外露于所述药液桶后、其另一端置于所述循环药液溢流桶的内腔，出液管的进液部分位于所述循环药液溢流桶的内腔，所述出液管的出液部分安装蠕动泵后连接至抛光机的进药管。

4.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述药液桶内还排布有若干冷凝管。

5.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的外露于所述药液桶的部分设置沿着流向分别设置有隔膜泵、循环滤芯，所述循环滤芯的过滤精度优于所述药管过滤罐芯的过滤精度。

6.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述药液桶内还设置有液位计，所述液位计沿着药液桶的高度方向布置。

7.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的一端贯穿对应的管路插孔后内插于药液桶的内腔的底部区域。

8.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的一端、进液管对应的管路插孔上盖装有端盖连接头，端盖连接头确保循环管、进液管对应于顶盖位置的封装连接。

9.如权利要求3所述的砷化镓抛光液自动循环过滤装置，其特征在于：所述循环管的另一端、出液管分别通过溢流桶安装接口安装于所述循环药液溢流桶的旁通溢流孔的下方位置区域，所述溢流桶安装接口的上凸表面盖装有封装盖。