[发明专利]一种两相耦合电感单元和多相耦合电感

权利要求书

1.一种两相耦合电感单元，包括第一线圈（1）、第二线圈（2）、磁芯（3）、磁芯衬体（4）、衬底（5），其特征在于，所述的第一线圈（1）、第二线圈（2）、磁芯（3）均嵌在衬底（5）之内，都通过在衬底上刻蚀出固定的沟槽来制作，磁芯衬体（4）以环状围绕第一线圈（1）和第二线圈（2），在磁芯衬体（4）上刻蚀有沟槽（6），磁芯（3）设置于沟槽（6）内，磁芯（3）、第一线圈（1）及第二线圈（2）相互之间绝缘，第一线圈（1）和第二线圈（2）属不同相，通过第一线圈（1）的电流方向与通过第二线圈（2）的电流方向相反, 两线圈反相耦合，形成一个两相耦合的电感单元，衬底（5）上刻蚀出长沟槽、短沟槽，长沟槽贯穿衬底（5），长沟槽中电镀铜柱，填满长沟槽，在短沟槽内填埋磁芯（3），所述的第一线圈（1）与第二线圈（2）等高，两个电感线圈的横截面为矩形且电感线圈形状为柱状。

2.根据权利要求1所述的两相耦合电感单元，其特征在于，磁芯（3）充满沟槽（6）内部。

3.根据权利要求1所述的两相耦合电感单元，其特征在于，磁芯（3）由软磁薄膜材料做成，覆盖于沟槽（6）两侧内壁。

4.根据权利要求3所述的两相耦合电感单元，其特征在于，在沟槽（6）的两侧内壁各形成至少一层软磁薄膜，软磁薄膜以化学镀或电镀的方法制得。

5.根据权利要求1所述的两相耦合电感单元，其特征在于，所述磁芯（3）通过沟槽（6）形状来控制是否为闭合磁芯。

6.根据权利要求1所述的两相耦合电感单元，其特征在于，所述的沟槽（6）可以设置多个，相应的也具有多个磁芯（3）。

7.根据权利要求1-6任一项所述的两相耦合电感单元，其特征在于，所述的磁芯（3）材料为高饱和磁通密度的软磁材料，磁芯（3）、第一线圈（1）、第二线圈（2）相互之间绝缘所用材料为二氧化硅、氮化硅及有机绝缘材料的至少一种。

8.一种多相耦合电感，其特征在于，由X=n×m个权利要求1-7中任一项所述的两相耦合电感单元组成，n表示相数，n为大于或等于2的自然数， m为大于或等于1的自然数，2m个线圈串联成一相，该相中每个线圈属于不同的两相耦合电感单元，通过相邻线圈的电流方向相反。

9.根据权利要求8所述的多相耦合电感，其特征在于，当n为偶数时，可组成n相电路排列对称的多相耦合电感。