[发明专利]采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器

权利要求书

1.一种采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器，其特征在于，包括：入光真空管道(1)、出光真空管道(2)、滤波小孔组件(3)、入光透镜(4)、出光透镜(5)、分体式真空阀(6)、吸气剂泵(7)、冷阴极电离规(8)和干泵分子泵机组(9)；

所述入光透镜(4)、入光真空管道(1)、滤波小孔组件(3)、出光真空管道(2)、出光透镜(5)依次连接组成一个密闭的真空腔体；在入光真空管道(1)和出光真空管道(2)上分别设有法兰接口，所述吸气剂泵(7)通过法兰安装在入光真空管道(1)上，所述分体式真空阀(6)通过法兰安装在出光真空管道(2)上，在出光真空管道(2)上还设有真空度监测接口法兰，法兰上安装冷阴极电离规(8)，分体式真空阀(6)位于滤波小孔组件(3)和冷阴极电离规(8)之间，所述分体式真空阀(6)还与干泵分子泵机组(9)连接；

所述冷阴极电离规(8)用于监测激光空间滤波器的真空度，若真空度不满足要求时，对吸气剂泵(7)进行激活，所述吸气剂泵(7)用于维持系统工作真空度。

2.如权利要求1所述的采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器，其特征在于，所述干泵分子泵机组(9)中包括干泵和分子泵，用于对空间滤波器抽取真空并达到工作真空度。

3.如权利要求1所述的采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器，其特征在于，所述工作真空度为1×10^-3Pa量级。

4.如权利要求3所述的采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器，其特征在于，所述吸气剂泵(7)与加热电源连接，若真空度不满足工作要求时，对吸气剂泵(7)进行加热激活。

5.如权利要求4所述的采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器，其特征在于，所述吸气剂泵(7)的激活温度为400℃～500℃，激活时间为20min～60min。