[发明专利]一种用于真空环境下的气体纯化装置及超高真空设备

权利要求书

1.一种用于真空环境下的气体纯化装置，其特征在于：包括气体存储罐，气体存储罐通过第一连通管道与超高真空设备的真空腔体连通，第一连通管道上设置有第一阀门，气体存储罐上设置有进气口；气体存储罐通过第二连通管道连通有换热管，换热管外部设置有换热结构，第二连通管道上设置有第二阀门，换热管的出气口通过第三连通管道与气体存储罐连通，第三连通管道上设置有真空泵站，第三连通管道上于真空泵站的上游设置有第三阀门，第三连通管道上于真空泵站的下游设置有第四阀门。

2.根据权利要求1所述的用于真空环境下的气体纯化装置，其特征在于：所述换热结构包括保温杯，保温杯中设置有用于与换热管进行热交换的换热介质。

3.根据权利要求1或2所述的用于真空环境下的气体纯化装置，其特征在于：所述第二连通管道上通过第四连通管道连通有壳体管，壳体管的一端为盲端，壳体管中设置有吸附剂，第四连通管上设置有第五阀门，第二连通管道上还设置有第六阀门，第二阀门位于第四连通管与第二连通管的连接处的上游，第六阀门位于第四连通管与第二连通管的连接处的下游。

4.根据权利要求3所述的用于真空环境下的气体纯化装置，其特征在于：所述壳体管中于吸附剂沿壳体管轴线方向的一侧设置有第一石英棉，另一侧设置有第二石英棉。

5.根据权利要求1所述的用于真空环境下的气体纯化装置，其特征在于：所述第一连通管道的端部设置有转接法兰，用于与超高真空设备的真空腔体上与样品正对的真空腔体第一法兰连接。

6.一种超高真空设备，包括真空腔体，其特征在于：还包括气体纯化装置，气体纯化装置包括气体存储罐，气体存储罐通过第一连通管道与超高真空设备的真空腔体连通，第一连通管道上设置有第一阀门，气体存储罐上设置有进气口；气体存储罐通过第二连通管道连通有换热管，换热管外部设置有换热结构，第二连通管道上设置有第二阀门，换热管的出气口通过第三连通管道与气体存储罐连通，第三连通管道上设置有真空泵站，第三连通管道上于真空泵站的上游设置有第三阀门，第三连通管上于真空泵站的下游设置有第四阀门。

7.根据权利要求6所述的超高真空设备，其特征在于：所述换热结构包括保温杯，保温杯中设置有用于与换热管进行热交换的换热介质。

8.根据权利要求6或7所述的超高真空设备，其特征在于：所述第二连通管道上通过第四连通管道连通有壳体管，壳体管的一端为盲端，壳体管中设置有吸附剂，第四连通管上设置有第五阀门，第二连通管道上还设置有第六阀门，第二阀门位于第四连通管与第二连通管的连接处的上游，第六阀门位于第四连通管与第二连通管的连接处的下游。

9.根据权利要求8所述的超高真空设备，其特征在于：所述壳体管中于吸附剂沿壳体管轴线方向的一侧设置有第一石英棉，另一侧设置有第二石英棉。

10.根据权利要求6所述的超高真空设备，其特征在于：所述第一连通管道的端部设置有转接法兰，用于与超高真空设备的真空腔体上与样品正对的真空腔体第一法兰连接。