[发明专利]一种基于磁致伸缩效应的悬臂梁式磁场探测器在审
| 申请号: | 202010433045.3 | 申请日: | 2020-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN111562526A | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R33/032 | 分类号: | G01R33/032 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 528458 广东省中山市火炬开发区中心城区港义*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 伸缩 效应 悬臂梁 磁场 探测器 | ||
1.一种基于磁致伸缩效应的悬臂梁式磁场探测器,其特征在于,包括:振源、底座、悬臂梁、磁致伸缩材料;所述底座有两个,所述底座固定在所述振源上,所述悬臂梁的两端分别固定在两个所述底座上,所述悬臂梁上具有凹槽,所述磁致伸缩材料设置在所述凹槽内;工作时,所述悬臂梁在所述振源作用下发生振动,在待测磁场作用下,所述磁致伸缩材料膨胀,改变所述悬臂梁中的应力,从而改变所述悬臂梁的振动频率,通过检测所述悬臂梁振动的频率实现磁场探测。
2.如权利要求1所述的基于磁致伸缩效应的悬臂梁式磁场探测器,其特征在于:所述磁致伸缩材料为镍材料。
3.如权利要求2所述的基于磁致伸缩效应的悬臂梁式磁场探测器,其特征在于:所述振源为压电晶振片,所述悬臂梁为半导体材料或金刚石。
4.如权利要求1-3任一项所述的基于磁致伸缩效应的悬臂梁式磁场探测器,其特征在于:所述磁致伸缩材料与所述悬臂梁的表面齐平。
5.如权利要求4所述的基于磁致伸缩效应的悬臂梁式磁场探测器,其特征在于:还包括第二悬臂梁,所述第二悬臂梁与所述悬臂梁形貌相同,在所述第二悬臂梁的凹槽内也设有磁致伸缩材料,所述磁致伸缩材料与所述悬臂梁的表面齐平,所述悬臂梁与所述第二悬臂梁对称地胶连在一起,并固定地连接在两所述底座上。
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