[发明专利]一种体声波谐振装置、一种滤波装置及一种射频前端装置

权利要求书

1.一种体声波谐振装置，其特征在于，包括：

第一无源部，所述第一无源部包括第一基底及第一散热层，所述第一散热层位于所述第一基底上方；

第一有源部，所述第一有源部包括第一压电层、第一电极层及第二电极层，其中，所述第一压电层位于所述第一无源部上方，所述第一压电层包括第一侧及所述第一侧相对的第二侧，所述第一无源部位于所述第一侧，所述第一电极层位于所述第一侧，所述第一电极层位于所述第一无源部和所述第一压电层之间，所述第二电极层位于所述第二侧；以及

第一空腔，位于所述第一侧，位于所述第一无源部和所述第一压电层之间，所述第一电极层的至少一部分位于所述第一空腔上或所述第一空腔内。

2.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一散热层的材料包括以下至少之一：氮化铝、碳化硅、金刚石。

3.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一散热层的厚度包括：0.1微米至5微米。

4.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一空腔嵌入所述第一无源部，位于所述第一基底和所述第一压电层之间，所述第一散热层位于所述第一空腔两侧。

5.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一空腔嵌入所述第一无源部，位于所述第一散热层和所述第一压电层之间，所述第一散热层还位于所述第一空腔两侧。

6.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一电极层位于所述第一空腔内，所述第一压电层位于所述第一电极层上。

7.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一散热层包括第一凹槽；所述第一电极层包括第一端及所述第一端相对的第二端，所述第一端位于所述第一空腔内，所述第二端位于所述第一凹槽内，所述第一压电层位于所述第一电极层上。

8.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一空腔嵌入所述第一无源部，位于所述第一基底和所述第一电极层之间，所述第一散热层位于所述第一空腔两侧。

9.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一空腔嵌入所述第一无源部，位于所述第一散热层和所述第一电极层之间，所述第一散热层还位于所述第一空腔两侧。

10.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一电极层位于所述第一空腔上，所述第一压电层覆盖所述第一电极层。

11.如权利要求10所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一压电层包括第一突起部，位于所述第一电极层上方；所述第二电极层位于所述第一压电层上，所述第二电极层包括第二突起部，位于所述第一突起部上方。

12.如权利要求11所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一突起部的形状包括以下至少之一：梯形、矩形；所述第二突起部的形状包括以下至少之一：梯形、矩形。

13.如权利要求1所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一空腔位于所述第一散热层和所述第一压电层之间，所述第一空腔位于所述第一散热层上。

14.如权利要求13所述的体声波谐振装置，其特征在于，所述第一电极层位于所述第一散热层上，所述第一电极层包括第三突起部，所述第三突起部位于所述第一空腔上；所述第一压电层覆盖所述第一空腔，所述第一压电层包括第四突起部，位于所述第三突起部上方；所述第二电极层位于所述第一压电层上，所述第二电极层包括第五突起部，位于所述第四突起部上方。