[发明专利]一种含有机硅烷废气废液焚烧系统及工艺

权利要求书

1.一种含有机硅烷废气废液焚烧工艺，其特征在于，其具体包括如下步骤：

S1、将含有机硅烷废气送入喷淋水洗塔内进行氯硅烷气体和氯化氢气体的吸收，经喷淋水洗塔喷淋处理后的废气通过冷凝器进行冷凝，冷凝所得的高氯硅烷等液体回收，冷凝后的废气经过水封罐和阻火器的防输送回火爆炸处理后，再送入一次焚烧炉内燃烧；与此同时含有机硅烷废液经雾化同步喷入一次焚烧炉内燃烧；其中一次焚烧炉内燃烧温度为750-850℃，烟气滞留时间为1.5-2秒；

S2、将S1产生的烟气送入二次焚烧室内燃烧；其中二次焚烧室内燃烧温度为950-1100℃，烟气滞留时间2秒；

S3、将S2产生的烟气送入余热锅炉进行余热回收，使烟气温度降低到550℃，烟气中的二氧化硅在余热锅炉内冷却形成灰渣回收，烟气最后经净化处理后排放。

2.根据权利要求1所述的一种含有机硅烷废气废液焚烧工艺，其特征在于，S1中的喷淋水洗塔内压力控制在1～5KPa；当喷淋水洗塔内压力达到上限时，将废气抽存到废气缓存罐内暂存，继续超压时，则将废气通入活性炭吸附罐经过吸附处理后泄压排放；当喷淋水洗塔内压力处于负压状态时，废气从废气缓存罐中返至喷淋水洗塔，继续负压时，向喷淋水洗塔内通入氮气升压。

3.根据权利要求1所述的一种含有机硅烷废气废液焚烧工艺，其特征在于，S1中经冷凝器冷凝处理后的废气进行氧含量、有机废气浓度实时检测，当氧含量低于5％或有机废气浓度低于10％时，废气正常进行后续燃烧处理；氧含量超过5％或有机废气浓度超过25％时，废气紧急自动切换通入活性炭吸附罐经过吸附处理后再排放。

4.根据权利要求1所述的一种含有机硅烷废气废液焚烧工艺，其特征在于，S3中的净化处理包括：除尘、碱洗处理。

5.一种含有机硅烷废气废液焚烧系统，包括依次连接的一次焚烧室、二次焚烧室以及尾气净化装置，含有机硅烷废气经废气预处理装置送入一次焚烧室内，含有机硅烷废液经高压雾化装置送入一次焚烧室内，其特征在于，所述废气预处理装置包括依次连接的喷淋水洗塔、冷凝器、水封罐以及阻火器，所述喷淋水洗塔包括废气进口Ⅰ、废气进口Ⅱ、废气出口Ⅰ、废气出口Ⅱ、废气出口Ⅲ，废气进口Ⅰ通入外部含有机硅烷废气，废气进口Ⅱ和废气出口Ⅰ连接废气缓存罐，废气出口Ⅱ连接冷凝器，废气出口Ⅲ连接活性炭吸附罐；所述冷凝器另通过气体检测仪连接活性炭吸附罐。

6.根据权利要求1所述的一种含有机硅烷废气废液焚烧系统，其特征在于，所述尾气净化装置包括依次连接的余热锅炉、高温陶瓷膜除尘器、急冷塔、水洗塔、碱洗塔、湿电除尘器以及烟囱；所述活性炭吸附罐连接烟囱。

7.根据权利要求1所述的一种含有机硅烷废气废液焚烧系统，其特征在于，所述废气进口Ⅱ、废气出口Ⅰ、废气出口Ⅱ、废气出口Ⅲ与所对应设备的连接管道上均安装有阀门。

8.根据权利要求6所述的一种含有机硅烷废气废液焚烧系统，其特征在于，所述余热锅炉的炉膛为全膜式壁结构，且其上安装有若干弹簧锤振打装置。

9.根据权利要求6所述的一种含有机硅烷废气废液焚烧系统，其特征在于，所述余热锅炉的炉膛下部为锥形结构。