[发明专利]测试设备

权利要求书

1.一种测试设备，其包括：

-真空腔室，

-卡盘，所述卡盘用于保持包括集成电路的晶圆，

-探针卡，所述探针卡用于电气接触所述晶圆上的所述集成电路，

-移动装置，所述移动装置用于使所述卡盘相对于所述探针卡移动，

-第一辐射屏蔽件，所述第一辐射屏蔽件布置在所述真空腔室内侧并且包封所述卡盘和所述探针卡，以及

-冷却单元，所述冷却单元热连接到所述第一辐射屏蔽件，

其特征在于：

-用于使所述卡盘相对于所述探针卡移动的装置包括具有第一端部和第二端部的支撑柱，所述支撑柱的所述第一端部附接到所述卡盘，并且

-所述第一辐射屏蔽件包括第一固定零件和第一可移动零件，所述第一固定零件具有所述支撑柱布置成穿过其的第一孔口，所述第一可移动零件附接到所述支撑柱并且布置成覆盖所述第一孔口。

2.如权利要求1所述的测试设备，其特征在于：所述第一可移动零件具有所述支撑柱布置成穿过其的第二孔口。

3.如权利要求1或2所述的测试设备，其特征在于：所述测试设备包括布置在所述真空腔室内侧并且包封所述第一辐射屏蔽件的第二辐射屏蔽件，所述第二辐射屏蔽件包括第二固定零件和第二可移动零件，所述第二固定零件具有所述支撑柱布置成穿过其的第三孔口，所述第二可移动零件附接到所述支撑柱并且布置成覆盖所述第三孔口。

4.如权利要求3所述的测试设备，其特征在于：所述第二可移动零件具有所述支撑柱布置成穿过其的第四孔口。

5.如权利要求3或4所述的测试设备，其特征在于：所述冷却单元具有热连接到所述第一辐射屏蔽件的第一温度级和热连接到所述第二辐射屏蔽件的第二温度级。

6.如权利要求5所述的测试设备，其特征在于：所述冷却单元具有热连接到所述卡盘和所述探针卡的第三温度级。

7.如前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于：所述辐射屏蔽件的所述固定零件包括围绕所述孔口的第一唇缘，并且所述辐射屏蔽件的所述可移动零件包括布置在其外边缘处的第二唇缘，所述第一唇缘和所述第二唇缘布置成彼此面对。

8.如前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于：所述辐射屏蔽件包括附接到所述固定零件或所述可移动零件以用于屏蔽所述固定零件与所述可移动零件之间的间隙的密封件。

9.如权利要求1至7中任一项所述的测试设备，其特征在于：所述辐射屏蔽件包括与柔性元件一起附接到所述固定零件以用于闭合所述固定零件与所述可移动零件之间的间隙的实心环。

10.如前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于：使所述固定零件和所述可移动零件的彼此面对的表面中的至少一者吸热。

11.如前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于：所述用于使所述卡盘相对于所述探针卡移动的装置包括附接到所述支撑柱的所述第二端部以用于使所述支撑柱在三个垂直方向上移动的第一致动器。

12.如权利要求11所述的测试设备，其特征在于：所述用于使所述卡盘相对于所述探针卡移动的装置包括附接到所述支撑柱的所述第二端部以用于使所述支撑柱围绕其纵向轴线旋转的第二致动器。

13.如前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于：所述支撑柱包括一个或多个管件。

14.如权利要求13所述的测试设备，其特征在于：所述管件由片材金属制成。

15.如权利要求13或14所述的测试设备，其特征在于：所述管件的壁厚度在0.05mm至0.3mm的范围内。

16.如前述权利要求中任一项所述的测试设备，其特征在于：所述冷却单元是使用闭环氦气循环的干燥低温恒温器。