[发明专利]一种气溶胶的原位检测方法在审
| 申请号： | 202010340998.5 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111689462A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 张昱;刘强;崔成强;叶怀宇;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y30/00;G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 刘敦枫 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气溶胶 原位 检测 方法 | ||
1.一种气溶胶的原位检测方法，其特征在于，包括：
步骤S01：将纳米材料的本体放入制备装置(3)中，通过进气口(1)和第一单向阀(2)通入气体；
步骤S02：所述制备装置(3)制备所述纳米材料的纳米颗粒，通过第二单向阀(4)控制气体流量；
步骤S03：所述纳米颗粒随所述气体进入激光粒度仪(5)，检测所述纳米颗粒粒径和粒度分布；
步骤S04：被检测的所述纳米颗粒随气体进入收集装置(6)中，沉积到所述收集装置(6)的基底(7)上，得到纳米材料。
2.根据权利要求1所述的气溶胶的原位检测方法，其特征在于，所述气体为氮气、氩气、氦气、氢气中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的气溶胶的原位检测方法，其特征在于：所述气体通入的流量为0.01L/min-20L/min。
4.根据权利要求1所述的气溶胶的原位检测方法，其特征在于：所述步骤S01中，所述纳米材料的本体为被制成纳米颗粒的任一物质。
5.根据权利要求1所述的气溶胶的原位检测方法，其特征在于：所述步骤S02中，制备所述纳米颗粒时需的施加条件包括：加高电压，加激光，加高温，机械作用，化学作用中的一种。
6.根据权利要求1所述的气溶胶的原位检测方法，其特征在于，通过通入气体的流量及作用条件，控制所述制备所述纳米材料的纳米颗粒的速度和粒径分布。
7.根据权利要求1所述的气溶胶的原位检测方法，其特征在于，所述基板(7)收集所述激光粒度仪(5)输入的所述纳米颗粒，使所述纳米颗粒沉积在其上。
8.根据权利要求1所述的气溶胶的原位检测方法，其特征在于，所述基底(7)设置在密封连通所述激光粒度仪(5)与所述收集装置(6)的导管的正下方，所述基底(7)为半导体基板、有机/无机薄膜类柔性基板、多孔基底中的任一种。
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