[发明专利]微粒子检测装置

说明书

本发明提供一种微粒子检测装置，用于检测目标物件的多个微粒子。微粒子检测装置包括光源、光学系统以及图像获取装置。光源适于提供照明光束。光学系统配置在照明光束的传递路径上。光学系统包括光学聚焦元件，具有景深值。光学系统提供检测光束至目标物件上以产生图像光束。图像获取装置配置在图像光束的传递路径上。检测光束为准直光束，且光学聚焦元件的焦平面与目标物件中具有微粒子的表面不重叠。

技术领域

本发明涉及一种照明装置，尤其涉及一种微粒子检测装置。

背景技术

随着科技发展，人们对于电子产品中电子构件的精密程度及品质需求越来越高。举例来说，电子产品中电路板上的各种元件的品质及外观检测为制造及检验过程中的重要步骤，以确保电路板的功能正常。在目前电路板的制作过程中，具有上导电粒子浆后将铜箔基板粘合的步骤。因此，为求电路板具有良好的制作过程，在制作过程中或制作过程后，需以检测设备观察微小的导电粒子结构，以对导电粒子的密度进行计算。

然而，在目前的作法当中，常以光学检测设备中距离物镜较近的一端搭配上微分干涉相差(Differential interference contrast，DIC)显微镜模块以进行对导电粒子的观察。但是若使用此种作法，不但需要配置较多的光学元件之外，还会进一步提升成本。此外，增加光学元件也将导致整体的照明亮度衰减一半以上。因此，若需达到良好的光学效果，需进一步增加照明亮度。再者，使用微分干涉相差显微镜模块的光学检测设备具有较复杂的操作程序。因此，如何设计或改良现有光学检测设备以不需额外配置微分干涉相差显微镜模块的方式，增加微粒子所呈现的对比度，是本领域技术人员共同致力于研究的。

发明内容

本发明提供一种微粒子检测装置，可提高微粒子在图像中的对比度。

本发明的一实施例提出一种微粒子检测装置，用于检测目标物件的多个微粒子。微粒子检测装置包括光源、光学系统以及图像获取装置。光源适于提供照明光束。光学系统配置在照明光束的传递路径上。光学系统包括光学聚焦元件，具有景深值。光学系统提供检测光束至目标物件上以产生图像光束。图像获取装置配置在图像光束的传递路径上，且光学聚焦元件的焦平面与目标物件中具有微粒子的表面不重叠。

基于上述，本发明的微粒子检测装置可在进行检测时，通过投射具有准直特性的检测光束至目标物件中具有微粒子的表面上，以及通过光学系统中作为物镜的光学聚焦元件产生微离焦状态，提高目标物件上多个微粒子在图像获取装置所呈现的图像对比度，使其具有良好的光学显示效果，进而可检测出目标物件上微粒子的单位密度。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1为本发明一实施例的微粒子检测装置的示意图；

图2为本发明另一实施例的微粒子检测装置的示意图；

图3为本发明另一实施例的微粒子检测装置的示意图；以及

图4为本发明另一实施例的微粒子检测装置的示意图。

附图标记说明

10：目标物件

100、100A、100B、100C：微粒子检测装置

110：光源

110’：位置

120：光学系统

122：光学聚焦元件

124：离焦模块

130：图像获取装置

132：感光元件

140：处理单元

150：调整模块