[发明专利]电源产生器的点火方法

说明书

一种电源产生器的点火方法，包含步骤：(a)、软启动一点火电压至一第一电压电平；(b)、持续一第一点火时间后，调整该点火电压至一第二电压电平；(c)、持续一第二点火时间后，调整该点火电压至该第一电压电平；以及(d)、重复步骤(b)、(c)，直到点火成功。

技术领域

本发明是有关一种电源产生器的点火方法，特别涉及一种可动态调整点火电压电平的电源产生器的点火方法。

背景技术

半导体设备电源主要可区分为直流、中频、射频以及微波等形态的电源。在电源启动时，通常都会给一个较大的激励源，由于腔体工艺产生等离子体的过程需要通过足够能量，将气体分子或原子的键结打断，因此，此激励一般可以以是高压或高频的电源。

请参见图1A与图1B，其中，图1A为现有电容性等离子体点火方式的示意图，图1B为现有电感性等离子体点火方式的示意图。如图1A所示，气体(例如氩气)在腔体中受到高压而游离为正离子及电子的等离子体。如图1B所示，气体(例如氩气)在腔体中受到高频而游离为正离子及电子的等离子体。

以直流电源(或脉冲电源)为例，配合参见图2A，其为现有直流电源点火方式的波形示意图。虽然直接以较高压的电压(例如3000伏特)进行供电较为容易地使气体产生游离而点火成功，然而在打出等离子体之前，由于腔体通常是处于冷却的状态，因此不见得所提供的高压电压能够很顺利地点火成功。通常，若点火失败，则会在持续一段时间后先关机。同时，进行腔体内的压力、气体浓度…等的调整，以建立优选的点火环境。之后以高压的电压再进行点火程序。然而，这样的点火方式会造成点火时间较长，使得点火效率不彰。再者，通过高压点火，由于离子轰击(ion bombardment)的作用，因此，容易对腔体产生损坏，使得腔体的寿命下降。

或者，以中频、射频电源为例，配合图2B，其为现有弦波电源点火方式的波形示意图。虽然通过高频的电压进行供电，但由于此交变的电源的频率、振幅固定，使得当正半周气体产生游离，然而却在负半周发生还原的状况，使得点火失败，且不易成功。

为此，如何设计出一种电源产生器的点火方法，特别是一种可动态调整点火电压电平的电源产生器的点火方法，来解决前述的技术问题，乃为本公开发明人所研究的重要课题。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种电源产生器的点火方法，解决现有技术的问题。

为实现前揭目的，本发明所提出的电源产生器的点火方法包含步骤：(a)、软启动一点火电压至一第一电压电平；(b)、持续一第一点火时间后，调整该点火电压至一第二电压电平；(c)、持续一第二点火时间后，调整该点火电压至该第一电压电平；以及(d)、重复步骤(b)、(c)，直到点火成功。

在一实施例中，该第一电压电平所持续的该第一点火时间与该第二电压电平所持续的该第二点火时间的比例为可调控的。

在一实施例中，当该点火电压为直流电压且为负电压时，该第一电压电平小于该第二电压电平。

在一实施例中，后面周期的该第一电压电平大于或等于前面周期的该第一电压电平，或者后面周期的该第二电压电平小于或等于前面周期的该第二电压电平。

在一实施例中，后面周期的该第一电压电平大于或等于前面周期的该第一电压电平，并且后面周期的该第二电压电平小于或等于前面周期的该第二电压电平。

在一实施例中，当该点火电压为弦波电压时，该第一电压电平的绝对值大于该第二电压电平的绝对值。

在一实施例中，后面周期的该第一电压电平的绝对值小于或等于前面周期的该第一电压电平的绝对值，或者后面周期的该第二电压电平的绝对值大于或等于前面周期的该第二电压电平的绝对值。

在一实施例中，后面周期的该第一电压电平的绝对值小于或等于前面周期的该第一电压电平的绝对值，并且后面周期的该第二电压的绝对值电平大于或等于前面周期的该第二电压电平的绝对值。